Substratreinigungsverfahren und Substratreinigungsvorrichtung
EP4020528
Art B1
4. September 2024
Anmelder: EBARA CORPORATION, Ebara Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4020528
- Aktenzeichen
- EP20854337
- Anmeldetag
- 13. Juli 2020
- Veröffentlichung
- 4. September 2024
- Erteilung
- 4. September 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/67H01L21/687
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- EBARA CORPORATION
Ebara Corporation - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Ebara
Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.
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Fachgebiete
Kanzlei
Wagner & Geyer
München, Deutschland
Wagner & Geyer wurde 1972 von Karl H. Wagner in München gegründet und fusionierte 1983 mit Dr. Ulrich F. Geyer. Neben Patenten begleitet die Kanzlei Designs, Gebrauchsmuster und Marken im internationalen Partnernetzwerk und berät traditionell eng mit japanischen Mandanten auf Deutsch, Englisch und Japanisch.
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