Sputter-Oberflächenbehandlung für Aktive Filter

EP4077760 Art A1 26. Oktober 2022

Anmelder: AddUp, Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Université Paris-Saclay 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4077760
Aktenzeichen: EP20848804
Anmeldetag: 17. Dezember 2020
Veröffentlichung: 26. Oktober 2022
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/56C23C14/16B22F3/105B29C64/00B33Y30/00H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: AddUp
Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Université Paris-Saclay
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Metallurgie & Oberflächentechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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