Verfahren zur Querschnittsbildgebung von Inspektionsvolumina in einem Wafer
EP4118674
Art A1
18. Januar 2023
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4118674
- Aktenzeichen
- EP21711490
- Anmeldetag
- 5. März 2021
- Veröffentlichung
- 18. Januar 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/26H01J37/22H01J37/305
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Tesch-Biedermann, Carmen
München, Deutschland
52
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11
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3
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Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss SMT GmbH · Oberkochen