Optische Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung der Optischen Vorrichtung
Anmelder: II-VI Delaware, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4180872
- Aktenzeichen
- EP22207338
- Anmeldetag
- 14. November 2022
- Veröffentlichung
- 2. Juli 2025
- Erteilung
- 2. Juli 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
An optical device is fabricated with a higher resolution of features in a patterned lattice. A photoresist is applied to a device layer for the optical device. Several photomasks offset from one another are used in different exposure steps to expose the photoresist with features. The features in each exposure can have different characteristic dimensions, such as different diameters for posts or holes to be produced in the device layer. Once the exposures are complete, the patterned lattice of the features are produced in the device layer. For example, the photoresist is developed, and reactive ion etching is used to produce the features in the device layer.
Anmelder
- Firma
- II-VI Delaware, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
US-amerikanisches Unternehmen, das optische Komponenten, Laser und Halbleiterbauteile für Telekommunikation, Industrie und Sensorik entwickelt, Teil von Coherent.
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Fachgebiete
Verbindet unter der Marke Forte IP patentanwaltliche und rechtsanwaltliche Expertise an Standorten in Berlin, München, Düsseldorf, Basel, London und Wien. Begleitet integrierte IP-Portfolios aus Patenten, Marken und Designs sowie Lizenzverträge, mit dem Anspruch, Smart Intellectual Property Management.