Kopf zum Halten eines Substrats und Substratverarbeitungsvorrichtung

EP4238699 Art A1 6. September 2023

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4238699
Aktenzeichen
EP21885622
Anmeldetag
20. Juli 2021
Veröffentlichung
6. September 2023
Rechtsraum
EP
IPC
B24B37/32B24B37/10C03C19/00H01L21/304H01L21/67
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
EBARA CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

1.514 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Vertreten von
Klang, Alexander H Wagner & Geyer München, Deutschland
1.529
Patente gesamt
31
Fachgebiete
15
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Nachrichtentechnik & Telekommunikation Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Elektronik & Schaltungstechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Zum Anwaltsprofil
Kanzlei
Wagner & Geyer München, Deutschland

Wagner & Geyer wurde 1972 von Karl H. Wagner in München gegründet und fusionierte 1983 mit Dr. Ulrich F. Geyer. Neben Patenten begleitet die Kanzlei Designs, Gebrauchsmuster und Marken im internationalen Partnernetzwerk und berät traditionell eng mit japanischen Mandanten auf Deutsch, Englisch und Japanisch.

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