Herstellungsverfahren im Wafermassstab für eine Nichtzytotoxische, Driftkompensierte Referenzelektrode in Gesundheits- und Biotechnischen Anwendungen
Anmelder: Imec VZW, Stichting IMEC Nederland 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4733753
- Anmeldetag
- 28. Oktober 2024
- Veröffentlichung
- 29. April 2026
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N27/30, // A61B5/00(KENDIG MARTIN W et al.)(SHIN JAE HO et al.)(DINSMOOR DAVID A et al.)(DAM VAN ANH et al.)
Abstract
A method (100) for wafer-scale fabrication of a non-cytotoxic reference electrode for various types of sensors, including electrochemical sensors, biosensors, and other devices used for analyte sensing is provided. The method comprises the steps of forming (101) at least one electrode on a substrate, forming (102) one or more metal or metal oxide layers on top of the at least one electrode, functionalizing (103) the one or more metal or metal oxide layers, providing (104) a membrane on top of the one or more metal or metal oxide layers to confine ions diffused from the one or more metal or metal oxide layers, forming (105) a reservoir on top of the membrane, filling (106) the reservoir with a reference electrolyte, and providing (107) at least one sensor inside the reservoir being in contact with the reference electrolyte to measure a total ion concentration and/or a specific ion concentration and/or a temperature of the reference electrolyte, enabling correction for sensor drift.
Anmelder
- Firmen
- Imec VZW
Stichting IMEC Nederland - Land
- 🇧🇪 Belgien
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