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Beijing NAURA Microelectronics Equipment Patente

🇨🇳 China

Beijing NAURA Microelectronics Equipment ist ein chinesischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, mit weiteren Anmeldungen in Elektronik und Prozesssteuerung. Anmeldungen reichen von 2013 bis in die Gegenwart.

488
Patente
2013–2025
Anmeldejahre
13
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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488 gesamt
Patent
29.02.2024
Substrate Support Including Multiple Radio Frequency (rf) Electrodes
WO2024040522
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.02.2024
Multi-layer focus ring for plasma semiconductor processing
WO2024040526
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.02.2024
Vorrichtung und Verfahren zur Plasmaverstärkten Atomlagenabscheidung
EP4321648
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.02.2024
Leistungseinstellungsverfahren für die Obere Elektrodenstromversorgung und Halbleiterprozessvorrichtung
EP4318547
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.02.2024
Specialty gas safety control method and apparatus, circuit, and semiconductor process device
WO2024022327
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.02.2024
Wafer-bearing device and adjustment mechanism therefor, and semiconductor process apparatus
WO2024022423
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.01.2024
Gas uniformizing device and semiconductor process equipment
WO2024017303
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.01.2024
Process chamber and semiconductor process apparatus
WO2024001822
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.01.2024
Process chamber for semiconductor apparatus, semiconductor apparatus, and semiconductor process method
WO2024001826
Metallurgie & Oberflächentechnik
04.01.2024
Wafer bearing device, and semiconductor process apparatus
WO2024002219
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.01.2024
Process chamber, semiconductor process device, and process method
WO2024002234
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.12.2023
Gas distribution apparatus and semiconductor process equipment
WO2023246522
Metallurgie & Oberflächentechnik
07.12.2023
Water supply control method for semiconductor process equipment, and semiconductor process equipment
WO2023231855
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.12.2023
Semiconductor process device, process chamber thereof, and tray detection method
WO2023232049
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.11.2023
Semiconductor process apparatus and calibration device
WO2023227099
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.11.2023
Coil structure for generating plasma and semiconductor process device
WO2023227095
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.11.2023
Temperature control device and semiconductor process apparatus
WO2023227089
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.11.2023
Gaseinlassanordnung einer Prozesskammer, Gaseinlassvorrichtung und Halbleiterverarbeitungsausrüstung
EP4283023
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.11.2023
Gas mixing device and semiconductor process apparatus
WO2023221830
Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
22.11.2023
Halbleiter-Prozesskammer
EP4280253
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.11.2023
Valve control device and method, and semiconductor processing equipment
WO2023216840
Maschinenelemente & Fluidtechnik
16.11.2023
Process chamber and parallelism testing method
WO2023216958
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.11.2023
Semiconductor process device, and method for forming stacked film structure
WO2023213189
Metallurgie & Oberflächentechnik
02.11.2023
Semiconductor process chamber and upper electrode structure thereof
WO2023207550
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.11.2023
Carrier and semiconductor process device
WO2023207693
Metallurgie & Oberflächentechnik
02.11.2023
Magnetron apparatus and magnetron sputtering device
WO2023207950
Metallurgie & Oberflächentechnik
02.11.2023
Vaporization system and semiconductor process device
WO2023207877
Maschinenelemente & Fluidtechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.10.2023
Emissivity measurement apparatus and method, semiconductor processing device, and infrared temperature measurement method
WO2023193645
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
05.10.2023
Wafer calibration apparatus and chamber, semiconductor process device, and calibration method
WO2023185446
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.10.2023
Wafer cassette and semiconductor device
WO2023185524
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.10.2023
Semiconductor Processing Equipment
WO2023185500
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.10.2023
Vacuumizing system, semiconductor process apparatus and vacuumizing method thereof
WO2023185542
Metallurgie & Oberflächentechnik
28.09.2023
Gas intake assembly, process chamber, and semiconductor process apparatus
WO2023179605
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.09.2023
Furnace tube mounting-dismounting auxiliary device
WO2023169216
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.08.2023
Halbleiter-Prozesseinrichtung und Prozesskammer dafür
EP4234755
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.08.2023
Verfahren zur Herstellung einer Dünnen Oxidschicht
EP4234756
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.08.2023
Wafer placement state detection method, and semiconductor process chamber and device
WO2023155791
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.08.2023
Vorrichtung und Verfahren zur Steuerung der Temperaturwechselrate und Halbleiterprozessvorrichtung
EP4224517
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.08.2023
Semiconductor processing apparatus
WO2023143094
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.07.2023
Semiconductor process device and process chamber thereof
WO2023138487
Metallurgie & Oberflächentechnik

Wer vertritt Beijing NAURA Microelectronics Equipment?

Die Kanzleien und Patentanwälte, die Beijing NAURA Microelectronics Equipment vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
361
Metallurgie & Oberflächentechnik
141
Elektronik & Schaltungstechnik
21
Software & Datenverarbeitung
19
Verfahrens- & Trenntechnik
15
Steuerungs- & Regelungstechnik
14
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
13
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
13
Maschinenelemente & Fluidtechnik
11
Verpackungs- & Fördertechnik
5
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
4
Optik & Fototechnik
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