Pfeiffer Vacuum

Die Erfindung betrifft unter anderem eine Scrollvakuumpumpe mit einem Pumpsystem, das ein feststehendes Spiralbauteil und ein mit diesem pumpwirksam zusammenwirkendes bewegliches Spiralbauteil umfasst, einer im Betrieb um eine Drehachse rotierenden Antriebswelle mit einem Exzenterabschnitt zum Antreiben des beweglichen Spiralbauteils, und einem elektrischen Antriebsmotor für die Antriebswelle, wobei zwischen den beiden Spiralbauteilen ein Axialspaltmaß vorhanden ist, und wobei ein Stellmittel vorgesehen ist, das dazu ausgebildet ist, das Axialspaltmaß einzustellen.

Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, mit einem Pumpsystem, das einen Stator und einen im Betrieb relativ zum Stator um eine Drehachse rotierenden Rotor umfasst, und mit einem Elektromotor als Drehantrieb für den Rotor, wobei der Elektromotor ein permanenterregter Synchronmotor ist, der Rotor eine Welle umfasst, und die Permanentmagnete des Synchronmotors innerhalb der Welle angeordnet sind.

Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe (90), bevorzugt Vakuumpumpe (90) nach einem der vorstehenden Ansprüche 1 bis 4, insbesondere Splitflowpumpe (92), mit- einem Einlass (94),- einem Auslass (96),- zwei oder mehr in Pumprichtung (98) zwischen dem Einlass (94) und dem Auslass (96) hintereinander geschaltete Pumpstufen (10), wobei die zumindest zwei oder mehr Pumpstufen (10) wenigstens eine Turbomolekular-Pumpstufe (10, 12) und wenigstens eine Holweck-Pumpstufe (14) umfassen, wobei die Turbomolekular-Pumpstufe (10, 12) in Pumprichtung (98) vor der Holweck-Pumpstufe (14) angeordnet ist und die wenigstens eine Holweck-Pumpstufe (14) einen Holweck-Stator (20) und einen im Betrieb um eine Rotationsachse (102) rotierenden Holweck-Rotor (30) umfasst,wobei zumindest ein Zwischeneinlass (40) für zu pumpendes Gas (100) vorgesehen ist, der in einem pumpaktiven Bereich einer der Pumpstufen (10) angeordnet ist, oder alternativ wobei zumindest ein Zwischeneinlass (40) für zu pumpendes Gas (100) vorgesehen ist, der zwischen zwei der Pumpstufen (10) oder in einem pumpaktiven Bereich einer der Pumpstufen (10) angeordnet ist.

Doppelflutige Scrollpumpe mit einem Spiralgehäuse (12), in dem sich ein Orbiter (14) befindet, der von einem Motor (16) zur Ausführung einer orbitierenden Bewegung angetrieben wird, wozu der Motor (16) eine Antriebswelle (18) mit einem exzentrischen Wellenabschnitt (20) aufweist, der den Orbiter (14) trägt. Der Orbiter (14) ist in axialer Richtung verschieblich auf dem exzentrischen Wellenabschnitt (20) gelagert. Der Orbiter (14) umfasst eine Trägerplatte(32), erste Spirale (28), die sich von einer ersten Seite der Trägerplatte erstreckt und zur Bildung einer ersten Pumpstufe (40) mit einer ersten feststehenden Spirale (36) in dem Spiralgehäuse (12) verschachtelt ist, und eine zweite Spirale (30), die sich von einer der ersten Seite gegenüberliegenden zweiten Seite der Trägerplatte erstreckt und zur Bildung einer zweiten Pumpstufe (42) mit einer zweiten feststehenden Spirale (36) in dem Spiralgehäuse verschachtelt ist, wobei (i) in der Trägerplatte (32) ein oder mehrere Druckausgleichbohrungen (44) ausgebildet sind, die sich zwischen der ersten und der zweiten Seite der Trägerplatte erstrecken; und/oder (ii) die Trägerplatte (32) über eine Drehverhinderungseinrichtung mit dem Spiralgehäuse verbunden ist, die eine Rotation des Orbiters (14) unterbindet und Rückstellkraft auf den Orbiter infolge einer axialen Auslenkung desselben aufbringt; und/oder (iii) ein aktives Axialmagnetlager (60) vorgesehen ist, welches eingerichtet und betreibbar ist, um auf den Orbiter (14) eine axiale Magnetkraft zur Steuerung dessen axialer Position auszuüben.

Eine Scrollpumpe umfasst einen Stator und einen Orbiter mit jeweiligen Spiralbauteilen (210;220), die ineinander eingreifen. Der Orbiter führt bezogen auf den Stator eine exzentrische Bewegung um eine Drehachse herum aus, die eine axiale Richtung definiert. Jeweilige Stirnflächen (216;226) der Spiralbauteile liegen in der axialen Richtung einander gegenüber und sind voneinander beabstandet. An einer dieser Stirnflächen (216;226) der Spiralbauteile ist mindestens ein Abstandselement (240) angeordnet, das über die Stirnfläche, an der es angeordnet ist, in axialer Richtung hervorsteht und bezogen auf die gegenüberliegende Stirnfläche einen vordefinierten Abstand aufweist. Das Abstandselement (240) umfasst ein Material, das sich durch mindestens eine tribologische Eigenschaft von einem jeweiligen Material an den Stirnflächen (216;226) der Spiralbauteile (210;220) unterscheidet.

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Die Erfindung betrifft ein Vakuumsystem mit einer Vakuumpumpe und einem Rezipienten, die jeweils eine Funktionsseite aufweisen, und mit einer Montageeinrichtung zur vakuumdichten Montage der Vakuumpumpe an den Rezipienten mit einander zugewandten Funktionsseiten, wobei die Montageeinrichtung dazu ausgebildet ist, zunächst ein Abstützen, nämlich durch Einhängen oder durch Einschieben, der Vakuumpumpe an dem Rezipienten und dann ein Befestigen der Vakuumpumpe an dem Rezipienten zu ermöglichen, wobei die Montageeinrichtung am Rezipienten wenigstens ein von dessen Funktionsseite abstehendes Stützorgan und an der Vakuumpumpe zumindest ein Gegenstück umfasst, das mit dem Stützorgan durch Einhängen von oben oder durch Einschieben von der Seite in Eingriff bringbar ist, um die Vakuumpumpe in einer Vorfixierstellung an dem Rezipienten abzustützen, und wobei die Montageeinrichtung zusätzlich zu dem Stützorgan und dem Gegenstück am Rezipienten und an der Vakuumpumpe ausgebildete Befestigungsmittel umfasst, mit denen die Vakuumpumpe entweder direkt in der Vorfixierstellung oder nach einem Überführen aus der Vorfixierstellung in eine Endfixierstellung an dem Rezipienten befestigbar ist.

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Turbomolekularvakuumpumpe mit einem Pumpeneinlass, einem Pumpenauslass und einem von einer Rotorwelle angetriebenen Pumpmechanismus zur Förderung eines Prozessgases vom Pumpeneinlass zum Pumpenauslass. Der Pumpmechanismus weist zwischen dem Pumpeneinlass und dem Pumpenauslass mehrere pumpwirksam miteinander in Serie geschaltete Turbomolekular-Pumpstufen mit jeweils einer Rotorscheibe und einer Statorscheibe stromabwärts der Rotorscheibe auf. Jede Rotorscheibe weist dabei mehrere sich radial erstreckende Flügel auf, die parallel zur Rotorwelle eine Höhe H aufweisen. Zudem weist jede Statorscheibe mehrere sich radial erstreckende Flügel auf, die parallel zur Rotorwelle eine Höhe h aufweisen. Hier gilt für das Verhältnis H / h der am weitesten stromaufwärts gelegenen Turbomolekular-Pumpstufe: 3 ≤ H / h ≤ 5.

Die Erfindung betrifft ein Vakuumgerät, umfassend ein Überwachungsmodul, das ausgebildet ist, Betriebsparameter des Vakuumgeräts zu überwachen, und ein drahtloses Schnittstellenmodul, das ausgebildet ist, mit einem drahtlosen Schnittstellenmodul einer von dem Vakuumgerät entfernten Auswertungsvorrichtung zu kommunizieren und die Betriebsparameter an die Auswertungsvorrichtung bereitzustellen.