Wächter, Jochen

Das Verfahren zur Ionenimplantation in ein Substrat (12) umfasst das Implantieren von Dotieratomen in das Substrat (12) und/oder Erzeugen von Defektstellen im Substrat (12) mittels Ionenimplantation unter Verwendung eines Energiefilters (20), wobei ein von einer lonenstrahlerzeugungsvorrichtung (11) erzeugter Ionenstrahl (10) zunächst durch den Energiefilter (20) hindurchtritt und anschließend in das Substrat (12) gelangt. Der Energiefilter (20) ist eine mikrostrukturierte Membran mit einem vordefinierten Strukturprofil zur Einstellung eines durch die Implantation hervorgerufenen Dotierstofftiefenprofils und/oder Defekttiefenprofils im Substrat (12). In einer Vielzahl von quer zur Strahlrichtung voneinander beabstandeten Bereichen (48) des Energiefilters (20), in denen der Energiefilter (20) einschließlich einer der Mikrostrukturen (50) in Strahlrichtung jeweils eine Ausdehnung (w) aufweist, die oberhalb einer vorbestimmten Grenze liegt, wird eine partielle Implantation von Fremdatomen mittels des lonenstrahls (10) durchgeführt und somit eine Vielzahl von voneinander beabstandeten, mit den Fremdatomen implantierten Implantationsbereichen (52) im Energiefilter (20) gebildet.

Eine erfindungsgemäße Nadelmaschine (1) umfasst mindestens einen Nadelbalken (4, 4') mit einer Vielzahl von Nadeln (8, 8'), mindestens eine Bürstenanordnung (24, 24') mit einer Vielzahl von Borsten (26, 26'), die dazu eingerichtet ist, mit der Vielzahl von Nadeln (8, 8') zusammenzuwirken, und eine erste und eine zweite Führungseinrichtung (10, 12), die sich zwischen dem mindestens einen Nadelbalken (4, 4') und der mindestens einen Bürstenanordnung (24, 24') hindurch erstrecken und zwischen denen ein Zwischenraum (14) ausgebildet ist, durch den ein textiles Flächengebilde (2) hindurchführbar ist. Die erste und die zweite Führungseinrichtung (10, 12) weisen eine Mehrzahl von ersten und zweiten Durchtrittsöffnungen (34, 36) für den Durchtritt der Vielzahl von Nadeln (8, 8') auf.

Ein erfindungsgemäßer Träger (6) umfasst eine Aufnahmeplatte (22) mit einer Aussparung (24) und ein Begrenzungselement (36), das an der Unterseite (28) der Aufnahmeplatte (22) angebracht ist und die Aussparung (24) überspannt. Die Aussparung (24) und das Begrenzungselement (36) bilden eine Aufnahme (38) für einen eingeformten Zuschnitt (32), eine eingesetzte Verpackungshaube oder Verpackung (30), die durch das zumindest eine Begrenzungselement (36) nach unten begrenzt ist. Das Begrenzungselement (36) weist in einer Querrichtung (Q) eine Breite (B) auf, die kleiner ist als eine Dimension (L) der Aussparung (24) parallel zur Querrichtung (Q).

Eine erfindungsgemäße Heizvorrichtung (18) zum Erwärmen einer Formfolie (6) umfasst ein erstes Werkzeug (30) mit einer ersten Heizplatte (42), die mittels einer Mehrzahl von ersten Federelementen (50a, 50b) gelagert ist, und ein zweites Werkzeug (32) mit einer zweiten Heizplatte (46), die mittels einer Mehrzahl von zweiten Federelementen (52a, 52b, 52c) gelagert ist. Die Federelemente (50, 52) der Mehrzahl von ersten Federelementen (50a, 50b) und der Mehrzahl von zweiten Federelementen (52a, 52b, 52c) sind in zumindest einer Richtung senkrecht zu ihrer Federachse (X_i) versetzt zueinander angeordnet.

Der Werkstückträger (5) zum Bewegen mindestens einer haubenförmigen Produktverpackung (6) und deren Abdeckelement (7) umfasst einen Grundträger (22), der in einem zentralen Bereich eine Durchtrittsöffnung (26) für die haubenförmige Produktverpackung (6) aufweist. Auf dem Grundträger (22) ist ein Einlegeelement (24) lösbar aufgelegt, das mindestens eine Ausnehmung (28) zur hängenden Aufnahme der haubenförmigen Produktverpackung (6) aufweist. Die Ausnehmung (28) des aufgelegten Einlegeelements (24) ist über der Durchtrittsöffnung (26) des Grundträgers (22) angeordnet. Ein umlaufender Steg (23) des Grundträgers (22) steht um das aufgelegte Einlegeelement (24) herum vor. Der Grundträger (22) weist auf dem umlaufenden Steg (23) Fixierelemente (30) zur umlaufenden Fixierung des Abdeckelements (7) auf.

Der Werkstückträger (5) zum Bewegen mindestens einer haubenförmigen Produktverpackung (6) und deren Abdeckelement (7) umfasst einen Grundträger (22), der in einem zentralen Bereich eine Durchtrittsöffnung (26) für die haubenförmige Produktverpackung (6) aufweist. Auf dem Grundträger (22) ist ein Einlegeelement (24) lösbar aufgelegt, das mindestens eine Ausnehmung (28) zur hängenden Aufnahme der haubenförmigen Produktverpackung (6) aufweist. Die Ausnehmung (28) des aufgelegten Einlegeelements (24) ist über der Durchtrittsöffnung (26) des Grundträgers (22) angeordnet.

Zusammenfassung wird geladen …

Zusammenfassung wird geladen …

Zusammenfassung wird geladen …

Zusammenfassung wird geladen …