Trumpf Patentabteilung

Die Erfindung betrifft eine Laseranordnung zur zeitlichen Kompression eines gepulsten Laserstrahls (12) mittels Selbstphasenmodulation mit Merkmalen des Anspruchs 1 und ein Verfahren zur zeitlichen Kompression eines gepulsten Laserstrahls (12) mittels Selbstphasenmodulation mit Merkmalen des nebengeordneten Anspruchs.

A bipolar pulsing power supply (1) for a plasma processing system (10) with a first output (11) and a second output (12) the first output (11) configured to be connected to a first electrode (3) of a plasma processing chamber (7) and the second output (12) configured to be connected to a second electrode (4) of the plasma processing chamber (7), the bipolar pulsing power supply (1) is configured to: - deliver pulsed power with a first pulsed current flow (21) to a predominant extent in a first direction from the first output (11) to the second output (12) during a first time duration (23) and - deliver pulsed power with a second pulsed current flow (22) to a predominant extent in a second direction from the second output (12) to the first output (11) during a second time duration (24), wherein the first pulsed current flow (21) and the second pulsed current flow (22) are independently controllable for both directions in respect to at least one of: duty cycle (25), power level (26), voltage level (27), current level (28). A plasma processing system (10) and a method for of plasma processing with such a bipolar pulsing power supply (1) are also disclosed.

A HP-generator (10) configured to deliver pulsed high power with a high voltage and/or high current to a capacitive load (8), particularly for a plasma process (9), comprising:a) a RF generating unit (3) in a first housing (42), configured to deliver RF power at an RF power output,b) a HV-pulsing unit (1) in a second housing (43), configured to generate pulsed high power using the RF power from the RF generating unit (3) and to supply this pulsed high power at an HV pulsing output,c) an RF power path for conducting RF current (47) from the RF generating unit (3) to the HV-pulsing unit (1), the RF-power-path (44) including a path filter element (45) with at least one inductive filter element (46), wherein the inductive filter element (46) is arranged to direct the RF current (47) from the RF generating unit (3) to the HV-pulsing unit (1) at least partially through the inductive filter element (46).

HP-generator (10) configured to deliver pulsed high power with a high value of voltage and/or high current value to a capacitive load (8), in particular to a plasma process (9), the HP-generator (10) comprising: a) a RF generating unit (3) in a first housing (42), configured to deliver RF-power at its RF-power output, b) a HV-pulsing unit (1) in a second housing (43), configured to generate pulsed high power with a high value of voltage and/or high current by using the RF-power from the RF generating unit (3), to supply this pulsed high power at its HV-pulsing-output (11), and to control the output power of the RF generating unit (3), c) a RF-power-path (47) for leading RF current (46) from the RF generating unit (3) to the HV-pulsing unit (1), d) a data communication line (33) between the RF generating unit (3) and the HV-pulsing unit (1), this data communication line (33) is configured to send control signals from the HV-pulsing unit (1) to the RF generating unit (3) in order to control the output power of the RF generating unit (3).

High voltage connector (1,11)for an industrial power equipment configured to lead high current and withstand high voltage in particular usable for a plasma process equipment,the HV connector (1,11) is formed to fit into a corresponding plug (121) and comprises:- a plug-connecting-end (69 and an inner-end (7),- a connecting element (2),- an insulator body (3) surrounding the connecting element (2) at least partially,- the connecting element (2) having a rod shape which expands from the plug-connecting-end (6 to an inner-end (7), the connecting element (2) comprises a rod-diameter-changing-point 8, where the diameter of the connecting element (2) changes from a first rod-diameter (21) in direction to the plug-connecting-end (6) to a second rod-diameter (22) in direction to the inner-end (7),- the insulator body (3) having a shape with a hole (23), the hole (23) formed to surround the connecting element (2), the hole (23) having a hole-diameter-changing-point (9), where the hole-diameter of the hole (23) changes from a first hole-diameter (24) in direction to the plug-connecting-end (6) to a second hole-diameter (25) in direction to the inner-end (7), wherein the first hole-diameter (24) is equal to the first rod-diameter (21) and the second hole-diameter (25) is equal to the second rod-diameter (22), so that the insulator-body (3) fits tightly on the connecting element (2), and- the insulator body (3) is positioned in such a way that its hole-diameter-changing-point (9) is adjacent to the rod-diameter-changing-point (8) of the connecting element (2), so that the connecting element (2) and the insulator body (3) build a compound without free distance at both diameters.

Eine maschinelle Vorrichtung (1) zum Separieren eines als Bearbeitungsprodukt einer trennenden Bearbeitung eines plattenartigen Werkstücks, insbesondere eines Blechs, vorliegenden Werkstückteils (2) von einem als weiteres Bearbeitungsprodukt der trennenden Werkstückbearbeitung vorliegenden Restgitter (3) unter Schwerkraftwirkung aus einem Produktverbund (5) des Restgitters (3) und des Werkstückteils (2) weist eine Haltevorrichtung (7), eine Separiereinheit (13) und eine Produktablage (15) auf. Die Haltevorrichtung (7) ist ausgebildet zum in der Schwerkraftrichtung wirksamen Fixieren des Produktverbunds (5) vor dem Separieren des Werkstückteils (2) und zum in der Schwerkraftrichtung wirksamen Fixieren des Restgitters (3) nach dem Separieren des Werkstückteils (2). Mittels einer Horizontierungsvorrichtung (18) wird vor dem Lösen des Werkstückteils (2) aus dem mittels der Haltevorrichtung (7) fixierten Produktverbund (5) der Produktverbund (5) mit einer Hauptebene (10) des Produktverbunds (5) parallel zu einer horizontalen Ablagefläche (14) der mit einem vertikalen Abstand unterhalb des Produktverbunds (5) angeordneten Produktablage (15) ausgerichtet.

Produktpalette zur Ablage der Bearbeitungsprodukte einer trennenden Bearbeitung eines plattenartigen Werkstücks und maschinelle Vorrichtung mit einer derartigen ProduktpaletteEine Produktpalette (1) zur Ablage eines als Bearbeitungsprodukt einer trennenden Bearbeitung eines plattenartigen Werkstücks vorliegenden Werkstückteils und eines als weiteres Bearbeitungsprodukt der trennenden Werkstückbearbeitung vorliegenden Restgitters weist Auflageelemente (5) auf, die bearbeitungsproduktseitig zur gemeinschaftlichen Lagerung des Werkstückteils und des Restgitters in Schwerkraftrichtung ausgebildet sind. In einem ersten Funktionszustand der Produktpalette (1) sind das Werkstückteil und das Restgitter mittels der Auflageelemente (5) der Produktpalette (1) gemeinschaftlich in Schwerkraftrichtung lagerbar. In einem zweiten Funktionszustand bildet die Produktpalette (1) an ihrer Oberseite eine ebene Auflagefläche (7) zur alleinigen Lagerung des Werkstückteils in Schwerkraftrichtung aus.Eine maschinelle Vorrichtung zum Handhaben eines als Bearbeitungsprodukt einer trennenden Bearbeitung eines plattenartigen Werkstücks vorliegenden Werkstückteils und eines als weiteres Bearbeitungsprodukt der trennenden Werkstückbearbeitung vorliegenden Restgitters umfasst eine Produktpalette (1) der vorstehenden Art.

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Handhaben eines lösbaren Produktverbunds (2), der mindestens ein Werkstückteil und ein Restgitter aufweist, das Verfahren umfassend die Schritte: Lösen des mindestens einen Werkstückteils von dem Restgitter mittels mindestens eines Schwingungserzeugers (35) an einer Separierstation (10). Bei dem Verfahren wird der Produktverbund (2) an einer Halteeinrichtung (27) fixiert, die den Produktverbund (2) randseitig mit mindestens einem Halteorgan (28) untergreift. Das Lösen des mindestens einen Werkstückteils von dem Restgitter erfolgt an dem mittels der Halteeinrichtung (27) fixierten Produktverbund (2). Die Erfindung betrifft auch eine maschinelle Vorrichtung zum Handhaben eines lösbaren Produktverbunds (2), der mindestens eine Werkstückteil und ein Restgitter aufweist, umfassend: mindestens einen Schwingungserzeuger (35) zum Lösen des mindestens einen Werkstückteils von dem Restgitter an einer Separierstation (10) der maschinellen Vorrichtung (1), eine Halteeinrichtung (27) zum Fixieren des Produktverbunds (2), die mindestens ein Halteorgan (28) zum randseitigen Untergreifen des Produktverbunds (2) aufweist, wobei die maschinelle Vorrichtung ausgebildet ist, das mindestens eine Werkstückteil an dem mittels der Halteeinrichtung (27) fixierten Produktverbund (2) aus dem Restgitter zu lösen.

Eine maschinelle Vorrichtung (1) zum Separieren eines Werkstückteils (2) von einem Restgitter (3) einer trennenden Werkstückbearbeitung aus einem Produktverbund (5) des Restgitters (3) und des Werkstückteils (2) umfasst eine Haltevorrichtung (6), eine Separiereinheit (14) und eine Produktablage (15). Die Haltevorrichtung (6) ist ausgebildet zum in der Schwerkraftrichtung wirksamen Fixieren des Produktverbunds (5) vor dem Separieren des Werkstückteils (2) und zum in der Schwerkraftrichtung wirksamen Fixieren des Restgitters (3) nach dem Separieren des Werkstückteils (2). Das mittels der Separiereinheit (14) aus dem an der Haltevorrichtung (6) fixierten Produktverbund (5) gelöste Werkstückteil (2) gelangt unter Schwerkraftwirkung auf die Produktablage (15). Mittels einer Abstands-Stellvorrichtung (16) ist der vertikale Abstand der Produktablage (15) von dem mittels der Haltevorrichtung (6) fixierten Produktverbund (5) in Abhängigkeit von der Geometrie des aus dem Produktverbund (5) gelösten Werkstückteils (2) variabel einstellbar.

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines Werkstücks (10) mit einer Fase (20), bei welchem mittels wenigstens eines Laserstrahls (24) ein Gutteil (18) in ein Abfallteil (12) und in das Werkstück (10) zerschnitten wird, wodurch die Fase (20) gebildet wird, wobei mittels des in einer Schneidrichtung bewegten Laserstrahls (28) ein erster Abschnitt der Fase (20) durch Abtrennen eines ersten Bereichs (26) des Abfallteils (12) von dem Werkstück (10) hergestellt wird, anschließend durch Bewegen des Laserstrahls (24) in einer schräg oder senkrecht zur Schneidrichtung verlaufenden Richtung (28) der bereits von dem Gutteil (18) abgetrennte erste Bereich (26) des Abfallteils (12) von einem zweiten Bereich (30) des Abfallteils (12) vollständig abgeschnitten wird und anschließend ein an den ersten Abschnitt (26) in Schneidrichtung anschließender zweiter Abschnitt der Fase (20) mittels des Laserstrahls (24) durch Abtrennen des zweiten Bereichs (30) des Abfallteils (12) von dem Werkstück (10) geschnitten wird.