Aixtron
🇩🇪 Deutschland aktiv
Aixtron ist ein deutscher Hersteller von Depositionsanlagen für die Halbleiterindustrie. Der Patentbestand konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Verfahrens- und Messtechnik. Die Anmeldungen aus 2000 bis 2025 betreffen unter anderem die Reinigung und den Betrieb von CVD-Reaktoren.
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Patente
303 gesamt| Patent | |||
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25.02.2026
Verdampfungsquelle für einen Cvd-Reaktor
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 01.07.2022
Erteilt am 25.02.2026
Vertretung
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31.12.2025
Gaseinlass für einen Cvd-Reaktor
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 23.02.2024
Anhängig
Vertretung
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26.11.2025
Verfahren zur Emissivitätskorrigierten Pyrometrie
Metallurgie & Oberflächentechnik
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 05.10.2021
Erteilt am 26.11.2025
Vertretung
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12.11.2025
Vorrichtung und Verfahren zum Behandeln von Substraten
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 21.12.2023
Anhängig
Vertretung
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06.11.2025
Cvd-Reaktor sowie Verfahren zu dessen Verwendung und Einrichtung
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 28.04.2025
Anhängig
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06.11.2025
Verfahren und Vorrichtung zur Reinigung eines Cvd-Reaktors
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 02.05.2025
Anhängig
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05.11.2025
Verfahren zum Abscheiden von Gallium Nitrid Gan auf Silizium Si
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 18.12.2023
Anhängig
Vertretung
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15.10.2025
Verfahren und Vorrichtung zum Abscheiden von Sic-Schichten auf einem Substrat
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 06.12.2023
Anhängig
Vertretung
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01.10.2025
Verfahren zum Einrichten eines Cvd-Reaktors
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.11.2023
Anhängig
Vertretung
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10.09.2025
Verfahren zur Emissivitätskorrigierten Pyrometrie
Metallurgie & Oberflächentechnik
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 19.01.2023
Erteilt am 10.09.2025
Vertretung
Zusammenfassung
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