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Beijing NAURA Microelectronics Equipment Patente

🇨🇳 China

Beijing NAURA Microelectronics Equipment ist ein chinesischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, mit weiteren Anmeldungen in Elektronik und Prozesssteuerung. Anmeldungen reichen von 2013 bis in die Gegenwart.

488
Patente
2013–2025
Anmeldejahre
13
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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488 gesamt
Patent
18.11.2021
Semiconductor reaction chamber and atomic layer plasma etching equipment
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.10.2021
Magnetic structure in semiconductor device, and semiconductor device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.09.2021
Reaction Chamber
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.09.2021
Sprühgerät und Reinigungsvorrichtung
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.07.2021
Cleaning device
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.07.2021
Inductive coupling apparatus and semiconductor processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.07.2021
Semiconductor processing device and cleaning method for dielectric window thereof
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.06.2021
Tray used for thin-film deposition device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.05.2021
Sputtering device
Metallurgie & Oberflächentechnik
14.05.2021
Etching method, air gap type dielectric layer, and dynamic random access memory
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.05.2021
Physical vapor deposition chamber and physical vapor deposition apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
18.03.2021
Plasma system and filtering device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.03.2021
Method and device for selecting material processing path
Steuerungs- & Regelungstechnik
14.01.2021
Mask structure and fcva device
Metallurgie & Oberflächentechnik
24.12.2020
Lower electrode device and plasma system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.12.2020
Semiconductor processing device and magnetron sputtering device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.12.2020
Method applied to plasma system and related plasma system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.12.2020
Bias magnetic field control method, magnetic thin film deposition method, chamber and device
Metallurgie & Oberflächentechnik
26.11.2020
Process chamber and semiconductor processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.11.2020
Charge transport apparatus and related plasma system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.11.2020
Cleaning chamber and cleaning device
Verfahrens- & Trenntechnik
22.10.2020
Reaction gas supply system and control method therefor
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.07.2020
Liner cooling assembly, reaction chamber, and semiconductor processing apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
30.07.2020
Semiconductor processing device and method for detecting workpiece in semiconductor process
Metallurgie & Oberflächentechnik
25.06.2020
Deadlock determination method and semiconductor device
Verpackungs- & Fördertechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.06.2020
Gas intake structure of chamber and reaction chamber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.06.2020
Substratätzverfahren
14.05.2020
Cleaning method and cleaning apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.05.2020
Reaction chamber and semiconductor processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.05.2020
Sensing coil assembly and reaction chamber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.05.2020
Liner assembly, reaction chamber and semiconductor processing apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.04.2020
Power transmission method for radio frequency power supply
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
23.04.2020
Chamber sealing assembly and growth furnace
Metallurgie & Oberflächentechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik
23.04.2020
Method for controlling radio frequency source
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.04.2020
Spraying device and cleaning apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.04.2020
Electrostatic chuck and reaction cavity
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.04.2020
Gas inlet system and atomic layer deposition apparatus and method
Metallurgie & Oberflächentechnik
02.04.2020
Air inlet apparatus for atomic layer deposition process and atomic layer deposition device
Metallurgie & Oberflächentechnik
19.03.2020
Chamber cooling apparatus and semiconductor processing device
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.02.2020
Height-adjustable needle system, reaction cavity, and semiconductor processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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