Cabot Microelectronics
🇺🇸 USA aktiv
Cabot Microelectronics war ein US-amerikanischer Hersteller von Polierchemikalien für die Halbleiterfertigung und ist heute Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben, Klebstoffe und Brennstoffe sowie Halbleiterbauelemente, mit Bezug zur Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Anmeldungen bis 2019 betreffen unter anderem CMP-Zusammensetzungen für die Chip-Planarisierung.
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Patente
290 gesamt| Patent | |||
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27.08.2025
Alternative Oxidationsmittel für Chemisch-Mechanisches Polieren von Kobalt
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.07.2017
Erteilt am 27.08.2025
Vertretung
Barker Brettell LLP · Kongens Lyngby
Zusammenfassung
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13.11.2024
Wolframpolierzusammensetzungen mit Verbesserter Topografie
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 04.01.2019
Erteilt am 13.11.2024
Vertretung
Barker Brettell LLP · Kongens Lyngby
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23.10.2024
Zusammensetzung und Verfahren zum Polieren von Siliciumcarbid
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
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Status
Angemeldet am 21.12.2017
Erteilt am 23.10.2024
Vertretung
Barker Brettell LLP · Kongens Lyngby
Zusammenfassung
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28.08.2024
Verfahren und Zusammensetzungen zur Verarbeitung eines Dielektrischen Substrats
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
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Status
Angemeldet am 12.07.2016
Erteilt am 28.08.2024
Vertretung
Barker Brettell LLP · Kongens Lyngby
Zusammenfassung
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10.07.2024
Oxid- und Nitridselektive Cmp-Zusammensetzungen mit Erhöhter Kümpel- und Musterselektivität
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
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Status
Angemeldet am 16.10.2017
Erteilt am 10.07.2024
Vertretung
Barker Brettell LLP · Kongens Lyngby
Zusammenfassung
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12.06.2024
Polierkissen mit Fundamentschicht und Daran Befestigtem Fenster
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
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Status
Angemeldet am 02.11.2016
Erteilt am 12.06.2024
Vertretung
Barker Brettell LLP · Kongens Lyngby
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29.05.2024
Polierkissen mit Niedriger Dichte
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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Status
Angemeldet am 13.01.2016
Erteilt am 29.05.2024
Vertretung
Trueman, Lucy Petra · Birmingham
Barker Brettell LLP · Kongens Lyngby
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29.05.2024
Beschichtetes Druckunterkissen zum Chemisch-Mechanischen Polieren
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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Status
Angemeldet am 12.11.2015
Erteilt am 29.05.2024
Vertretung
Trueman, Lucy Petra · Birmingham
Barker Brettell LLP · Kongens Lyngby
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03.04.2024
Cmp-Zusammensetzungen mit Vermindertem Dishing bei einem Sti-Waferpolierverfahren
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 13.11.2015
Erteilt am 03.04.2024
Vertretung
Trueman, Lucy Petra · Birmingham
Barker Brettell LLP · Kongens Lyngby
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03.04.2024
Zusammensetzung und Verfahren zum Polieren von Speicherfestplatten mit Reduzierten Oberflächenkratzern
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
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Status
Angemeldet am 25.10.2018
Erteilt am 03.04.2024
Vertretung
Barker Brettell LLP · Kongens Lyngby
Zusammenfassung
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