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Cabot Microelectronics Patente

🇺🇸 USA

Cabot Microelectronics war ein US-amerikanischer Hersteller von Polierchemikalien für die Halbleiterfertigung und ist heute Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben, Klebstoffe und Brennstoffe sowie Halbleiterbauelemente, mit Bezug zur Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Anmeldungen bis 2019 betreffen unter anderem CMP-Zusammensetzungen für die Chip-Planarisierung.

290
Patente
2000–2019
Anmeldejahre
20
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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290 gesamt
Patent
27.08.2025
Alternative Oxidationsmittel für Chemisch-Mechanisches Polieren von Kobalt
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.11.2024
Wolframpolierzusammensetzungen mit Verbesserter Topografie
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.10.2024
Zusammensetzung und Verfahren zum Polieren von Siliciumcarbid
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
28.08.2024
Verfahren und Zusammensetzungen zur Verarbeitung eines Dielektrischen Substrats
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
10.07.2024
Oxid- und Nitridselektive Cmp-Zusammensetzungen mit Erhöhter Kümpel- und Musterselektivität
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
12.06.2024
Polierkissen mit Fundamentschicht und Daran Befestigtem Fenster
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
29.05.2024
Beschichtetes Druckunterkissen zum Chemisch-Mechanischen Polieren
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
29.05.2024
Polierkissen mit Niedriger Dichte
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
03.04.2024
Cmp-Zusammensetzungen mit Vermindertem Dishing bei einem Sti-Waferpolierverfahren
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.04.2024
Zusammensetzung und Verfahren zum Polieren von Speicherfestplatten mit Reduzierten Oberflächenkratzern
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
06.03.2024
Polierzusammensetzung mit Kationischem Polymeradditiv
Kunststoff- & Polymertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
28.02.2024
Oberflächenbehandelte Schleifpartikel für Wolframpolieranwendungen
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.12.2023
Sicherheitsverschlüsse und Pumpsysteme
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Maschinenelemente & Fluidtechnik
22.11.2023
Zusammensetzung für Wolfram-Cmp
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
15.11.2023
Polierzusammensetzung mit einem Aminhaltigen Tensid
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
24.05.2023
Zusammensetzung für Wolfram-Cmp
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.05.2023
Nitridinhibitoren für Hohe Selektivität von Tin-Sin-Cmp-Anwendungen
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.04.2023
Selektive Nitridaufschlämmungen mit Verbesserter Stabilität und Verbesserten Poliereigenschaften
Kunststoff- & Polymertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
08.03.2023
Verfahren zur Herstellung einer Chemisch-Mechanischen Polierzusammensetzung
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
30.11.2022
Wolframverarbeitungsschlamm mit Kationischem Tensid und Cyclodextrin
Verfahrens- & Trenntechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
02.11.2022
Zusammensetzung für Wolfram-Cmp
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.10.2022
Chemisch-Mechanische Wolframpolierzusammensetzung
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.10.2022
Cmp-Kissen aus Polyurethan mit Hohem Modulverhältnis
Kunststoff- & Polymertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
07.09.2022
Diamantbasierte Aufschlämmungen mit Verbesserter Saphir-Entfernungsrate und Oberflächenrauheit
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
24.08.2022
Polierverfahren für ein Substrat mit Niedriger Elektrizitätskonstante
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.07.2022
Kobaltinhibitorkombination zur Verbesserten Biegebildung
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
06.07.2022
Verfahren zum Polieren von Grossen Wolfram-Mengen mit Verbesserter Topographie
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.02.2022
Chemisch-Mechanische Polierzusammensetzung mit Kolloidaler Kieselsäure
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
29.12.2021
Korrosionshemmer sowie Entsprechende Zusammensetzungen und Verfahren
Metallurgie & Oberflächentechnik
24.11.2021
Polierkissen mit einer Unterschicht und einer Polierschicht
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
10.11.2021
Polierkissen mit Porogenen mit Flüssigfüllstoff
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
13.10.2021
Wässrige Reinigungszusammensetzung für Post-Cu-Cmp
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.09.2021
Ceroxid-Zusammensetzungen zum Nasspolieren von Substraten und Zugehörige Verfahren
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.07.2021
Mehrschichtiges Polierkissen für Cmp
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.07.2021
Zusammensetzung für Wolfram-Cmp
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.07.2021
Cmp-Zusammensetzung zur Siliciumnitridentfernung
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.07.2021
Chemisch-Mechanische Polierzusammensetzung mit Kupferbarriere
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.06.2021
Reinigungszusammensetzung und Verfahren zur Reinigung von Halbleiterwafern nach Cmp
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.06.2021
Chemisch-Mechanische Polierzusammensetzung mit Kolloidaler Kieselsäure
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.05.2021
Sicherheitsverschlüsse und Pumpsysteme
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Maschinenelemente & Fluidtechnik

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