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Cymer

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Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

399
Patente
4
Vertretende Kanzleien
12
Fachgebiete

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Patente

399 gesamt
Patent
11.02.2026
Laserkammer mit Entladungsspalt mit Akustischer Steuerung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.02.2026
Verfahren und Vorrichtung zum Ersetzen eines Gasgemisches in einer Gasentladungskammer
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.01.2026
Dual comb radiation source and heterodyne detection for alignment metrology
Optik & Fototechnik
02.01.2026
Apparatuses and processes for light source system status tracking and maintenance utilizing data to text machine translation
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
26.12.2025
Repetition rate agile laser apparatus and method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.12.2025
Dual comb radiation source and heterodyne detection for overlay metrology systems and methods
Optik & Fototechnik
04.12.2025
Metrology apparatus for mirror
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
13.11.2025
Electrodes in Discharge Chamber For Radiation Source
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.11.2025
Laser configuration data comparison and graphical display
Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung
06.11.2025
Systems and methods for predicting a next pulse in a light source
Optik & Fototechnik

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