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Gigaphoton

🇯🇵 Japan aktiv

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

539
Patente
4
Vertretende Kanzleien
12
Fachgebiete

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Patente

539 gesamt
Patent
29.10.2025
Lagervorrichtung und Laservorrichtung mit der Lagervorrichtung
Metallurgie & Oberflächentechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik
06.08.2025
Laservorrichtung und Laserbearbeitungssystem
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.05.2025
Verfahren zur Bestrahlung eines Targets und System für eine Euv Strahlungsquelle
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.04.2025
Laser apparatus, method for controlling wavelength of laser apparatus, and method for manufacturing electronic device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.03.2025
Laser device and method for manufacturing electronic device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.03.2025
Laser apparatus and method of producing electronic device
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.03.2025
Laser processing apparatus, method for controlling laser processing apparatus, and method for manufacturing electronic device
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
06.02.2025
Exposure method and method for manufacturing electronic device
Optik & Fototechnik
30.01.2025
Chamber apparatus, gas laser apparatus, and method for producing electronic device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.01.2025
Gas laser apparatus and method for manufacturing electronic device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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