Tokyo Electron
🇯🇵 Japan aktiv
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
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Patente
6.254 gesamt| Patent | |||
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11.02.2026
Ätzverfahren und Ätzvorrichtung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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05.02.2026
Optical Wafer Monitoring
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Status
Angemeldet am 03.04.2025
Anhängig
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05.02.2026
Film formation method and film formation device
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Status
Angemeldet am 14.07.2025
Anhängig
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05.02.2026
Film forming apparatus
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.07.2025
Anhängig
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05.02.2026
Processing system and processing method
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Status
Angemeldet am 16.07.2025
Anhängig
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05.02.2026
Substrate holding mechanism, substrate processing device, and control method
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Status
Angemeldet am 23.07.2025
Anhängig
Zusammenfassung
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05.02.2026
Substrate processing apparatus and substrate processing method
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Status
Angemeldet am 23.07.2025
Anhängig
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05.02.2026
Angled beam exposure for hardmask based modification
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Status
Angemeldet am 26.03.2025
Anhängig
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05.02.2026
Measurement device, grinding system, and measurement method
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.07.2025
Anhängig
Zusammenfassung
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05.02.2026
Plasma processing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 16.07.2025
Anhängig
Zusammenfassung
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