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Axcelis Technologies Patente

🇺🇸 USA

Axcelis Technologies, Inc. ist ein US-amerikanischer Hersteller von Ionenimplantationsanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Beverly, Massachusetts. Das Patentportfolio ist fast vollständig auf Halbleiter und elektrische Bauelemente konzentriert, ergänzt um Oberflächentechnik und Mess- und Prüftechnik. Das Unternehmen meldet durchgehend seit 2000 an.

377
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

Patente durchsuchen

377 gesamt
Patent
28.05.2003
Vorrichtung und Verfahren zum Entfernen von Kontaminationsteilchen aus einem Ionenstrahl
EP1314180
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.03.2003
Integrierte Resonator- und Verstärkeranordnung
EP1290927
Elektronik & Schaltungstechnik
06.02.2003
Plasma Ashing Process
WO03010799
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.01.2003
System und Verfahren zur Bestimmung von Streulicht in einer Wärmebehandlungsanlage
EP1091200
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
21.11.2002
Plasma-Veraschungsprozess
WO02093634
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.11.2002
Methode und Gerät zur Entladung einer Elektrostatischen Haltevorrichtung
WO02091459
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.10.2002
Plasmaquelle mit Zusätzlicher Energiezuführung zur Verstärkung der Ionisierung
WO02082491
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.06.2002
Chemical Plasma Cathode
WO0247445
Elektronik & Schaltungstechnik
23.05.2002
Process For Reducing Edge Roughness in Patterned Photoresist
WO0241080
Optik & Fototechnik
15.05.2002
Implantierungs-Vorrichtung und -Verfahren
EP1204985
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.05.2002
Vorrichtung und Verfahren zur Implantierung eines Substrats mit Gleichmässiger Dosis
EP1204986
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.05.2002
Mechanismus zur Begrenzung der Neutronenstrahlung in der Strahlführungslinie von Ionenimplantierungsgeräten
WO0237906
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
28.03.2002
Vorrichtung und Verfahren zur Überwachung von Zerstäubungs- und Niederschlagseffekten in einem Plasmaimmersions-Implantierungsgerät
WO0225694
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.11.2001
System und Verfahren um Siliziumbeschichtete Oberflächen in einem Ionen-Implanter zu reinigen
EP1054438
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.06.2001
Quartzisolator für Teilchen in der Strahlführungslinie von Ionenimplantierungsgeräten
EP1111652
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.06.2001
Mit diamantähnlichem Material überzogene Teile in einem Ionenimplantierungsgerät zur Reduzierung der Röntgenstrahlenemission
EP1109196
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.05.2001
System und Verfahren zum Reinigen verunreinigter Oberflächen in einem Ionen-Implantationsgerät
EP1061550
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Wer vertritt Axcelis Technologies?

Die Kanzleien und Patentanwälte, die Axcelis Technologies vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
354
Metallurgie & Oberflächentechnik
22
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
18
Optik & Fototechnik
13
Elektronik & Schaltungstechnik
12
Elektrische Energietechnik
8
Anorganische Chemie & Werkstoffe
6
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
3
Verfahrens- & Trenntechnik
2
Maschinenelemente & Fluidtechnik
2
Kunststoff- & Polymertechnik
1
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
1

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