Axcelis Technologies Patente

🇺🇸 USA

Axcelis Technologies, Inc. ist ein US-amerikanischer Hersteller von Ionenimplantationsanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Beverly, Massachusetts. Das Patentportfolio ist fast vollständig auf Halbleiter und elektrische Bauelemente konzentriert, ergänzt um Oberflächentechnik und Mess- und Prüftechnik. Das Unternehmen meldet durchgehend seit 2000 an.

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Patente

2000–2025

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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377 gesamt

Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
03.11.2004	03.11.2004 Reaktoranlage und Behandlungsverfahren EP1472719 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.02.2003 Anhängig Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
27.10.2004	27.10.2004 Verfahren und Vorrichtung zur Steuerung einer variablen Apertur in einem Ionenimplantierungsgerät EP1030343 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.02.2000 Erteilt am 27.10.2004 Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.10.2004	14.10.2004 Gas-cooled clamp for rapid thermal processing WO2004088732 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.03.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.09.2004	23.09.2004 Alignment system for integrated circuit fabrication WO2004082013 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.03.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.09.2004	15.09.2004 Integrierte RF-Quelle mit Leistungsoszillator für Plasma-Immersions-Ionenimplantierungsvorrichtungen EP1174901 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.07.2001 Anhängig Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.09.2004	01.09.2004 Verfahren zum Optischen Löschen von Während der Herstellung von Integrierten Schaltkreisen Aufgebauter Ladung EP1451868 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 02.12.2002 Anhängig Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
12.08.2004	12.08.2004 Remote-Plasma-Quelle mit Schraubenförmiger Antenne WO2004068559 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.01.2004 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.08.2004	11.08.2004 Verfahren zur Formung von Polymeroberflächen EP1444716 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 07.11.2002 Anhängig Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.07.2004	21.07.2004 Kippmechanismus und Kühlvorrichtung für Waferhalter EP1438733 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.10.2002 Anhängig Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.06.2004	16.06.2004 Plasma-Ausheilverfahren für Poröse Materialien mit Niedriger Dielektrizitätskonstante EP1428253 Anorganische Chemie & Werkstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 16.08.2002 Anhängig Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.05.2004	19.05.2004 Endpunkt optimiertes optisches System EP1104018 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.11.2000 Anhängig Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Whitlock, Holly Elizabeth Ann · London Maucher Jenkins Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.05.2004	19.05.2004 Verfahren und Apparat zur Ionenbündelung in einem Ionenimplantationssystem EP1419515 Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.08.2002 Anhängig Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
19.05.2004	19.05.2004 Vorrichtung und Verfahren zum Schnellen Schalten von Umgebungsgas in einer Schnellen Thermischen Behandlung EP1419520 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.08.2002 Anhängig Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Whitlock, Holly Elizabeth Ann · London Maucher Jenkins Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.04.2004	21.04.2004 Plasmabehandlung von Porösen Filmen mit Niedriger Dielektrizitätskonstante auf Msq-Basis EP1410431 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.07.2002 Anhängig Vertretung Jacob, Reuben Ellis · London Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
21.04.2004	21.04.2004 Kleinwinkel-Interferenzverfahren und Gerät zur Echtzeitbestimmung der Ätzrate EP1410417 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.07.2002 Anhängig Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.04.2004	14.04.2004 Halbleiter-Transport-Maschine EP1407479 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.07.2002 Anhängig Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.04.2004	14.04.2004 Abstimmbare Strahlungsquelle mit einer Planaren Ausstrahlungsverteilung zur Bearbeitung von Halbleiterscheiben EP1407475 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.07.2002 Anhängig Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.03.2004	25.03.2004 Substraterwärmungsverfahren in einem Prozess mit Veränderbarer Temperatur unter Verwendung eines Festtemperaturhalter WO2004025710 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.09.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.03.2004	24.03.2004 Verfahren zur Vorbehandlung für die Plasma-Immersions-Ionenimplantation EP1111084 Metallurgie & Oberflächentechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.12.2000 Erteilt am 24.03.2004 Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.02.2004	25.02.2004 Sauerstofffreies Plasma-Entschichtungsverfahren EP1077476 Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.08.2000 Anhängig Vertretung Jacob, Reuben Ellis · London Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.02.2004	11.02.2004 Waferbehandlungskammer mit trennbaren oberen und unteren Hälften EP1109202 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.12.2000 Anhängig Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.01.2004	29.01.2004 Zweikammer-Vakuumbehandlungssystem WO2004010482 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.07.2003 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.12.2003	10.12.2003 Glocke mit integriertem Gasverteilungssystem EP1111660 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.12.2000 Anhängig Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
26.11.2003	26.11.2003 Ionenquelle mit auswechselbarem und zerstäubbarem Quellenmaterial im festen Zustand EP1220271 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.07.2001 Anhängig Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.11.2003	05.11.2003 Vorrichtung zur seriellen Behandlung von Wafern EP1109201 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.12.2000 Anhängig Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.10.2003	22.10.2003 Verfahren zur Entfernung von Photolack und Rückständen nach einer Ätzung EP1143498 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.03.2001 Anhängig Vertretung West, Alan Harry · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.10.2003	22.10.2003 Gasverteilungsplatte zur Erzeugung laminarer Gasströmung über die Oberfläche eines Substrats EP1150331 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.04.2001 Anhängig Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Whitlock, Holly Elizabeth Ann · London Maucher Jenkins Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.10.2003	01.10.2003 Ionenbeschleunigungs-Verfahren und -Vorrichtung in einem Ionenimplantierungsgerät EP1348226 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 27.12.2001 Anhängig Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.09.2003	24.09.2003 Als Zyklon Ausgebildeter Kontaminations-Sammelkollektor für eine Ionenimplantierungsvorrichtung EP1345701 Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 13.12.2001 Anhängig Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.09.2003	17.09.2003 Verfahrn zur Entfernung von Photoresist nach Ionenimplantation EP1344113 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.12.2001 Anhängig Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.09.2003	17.09.2003 Vorrichtung zur Überwachung der Wafer-Charge Während des Prozesses und Steuersystem für eine Ionenimplantationsvorrichtung EP1344242 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 18.12.2001 Anhängig Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
10.09.2003	10.09.2003 Verfahren und Vorrichtung zur Implantation von Icosaboran EP1341949 Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 11.12.2001 Anhängig Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
03.09.2003	03.09.2003 Verstärkung von Leistungsversorgungsvorrichtungen für Ionenimplantierungsanlagen EP1111651 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.12.2000 Erteilt am 03.09.2003 Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.08.2003	06.08.2003 Mechanismus zur Verhütung der Neutronenstrahlung in der Strahlführungslinie von Ionenimplantierungsgeräten EP1332652 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.10.2001 Anhängig Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.07.2003	23.07.2003 Sondenvorrichtung zur Ionendetektion in einer Plasmaionenquelle EP1328961 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.10.2001 Anhängig Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.07.2003	02.07.2003 Vorrichtung und Verfahren zur Regelung der Bewegung eines Werkstückes in einer Wärmebehandlungsvorrichtung EP1322901 Metallurgie & Oberflächentechnik Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 24.08.2001 Anhängig Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.06.2003	25.06.2003 Vorrichtung und Verfahren zur Kühlgasabgabe von Atmosphärischem Druck von Hochvakuum durch eine Drehende Dichtung in einem Batch-Ionenimplantierungsgerät EP1320865 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.08.2001 Anhängig Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.06.2003	25.06.2003 Vorrichtung zur Rückseitigen Gasabkühlung einer Halbleiterscheibe in einem Batch-Ionenimplantierungssystem EP1320866 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.08.2001 Anhängig Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.06.2003	25.06.2003 Methode und System zur Bestimmung von Druckkompensationsfaktoren in Ionenimplantierern EP1320882 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.09.2001 Anhängig Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
18.06.2003	18.06.2003 Zone kontrollierte Strahlungsheizanlage mit der Verwendung von einem fokussierten Reflektor EP1100114 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 03.11.2000 Anhängig Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen