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Axcelis Technologies Patente

🇺🇸 USA

Axcelis Technologies, Inc. ist ein US-amerikanischer Hersteller von Ionenimplantationsanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Beverly, Massachusetts. Das Patentportfolio ist fast vollständig auf Halbleiter und elektrische Bauelemente konzentriert, ergänzt um Oberflächentechnik und Mess- und Prüftechnik. Das Unternehmen meldet durchgehend seit 2000 an.

377
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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377 gesamt
Patent
05.02.2026
Ion stripping apparatus with integrated quadrupoles
WO2026030736
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.01.2026
Rf resonator with high q value for ion beam accleleration
WO2026024788
Elektronik & Schaltungstechnik
02.01.2026
Direct voltage control of a clamping surface of an electrostatic clamp
WO2026006812
20.11.2025
Dual force lift and ground pins for electrostatic chuck and method for use thereof
WO2025240535
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.11.2025
Improved energy accuracy for an rf linear accelerator ion implantation system
WO2025231087
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
30.10.2025
High aspect ratio beam dump or faraday cup with neutron radiation shielding
WO2025226883
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.10.2025
Granular sputter source target with repeller cup and method for use thereof
WO2025217342
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.09.2025
Method and apparatus for ion beam directional deposition
WO2025199544
Metallurgie & Oberflächentechnik
18.09.2025
Method, system and apparatus for teaching and verifying end station
WO2025193967
Steuerungs- & Regelungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.09.2025
Variable vent pressure and flow for flushing loadlock chamber
WO2025184636
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.08.2025
System and method for managing solid phase precursors for an ion implantation system
WO2025171361
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.07.2025
In-situ, pre-implant wafer characterization system and method
WO2025151833
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.06.2025
Liquid metal alloy feed materials for ion implantation
WO2025137732
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.06.2025
System and method for dynamic loadlock pressure control
WO2025136919
Maschinenelemente & Fluidtechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.06.2025
High-Efficiency Target For an Ion Source
WO2025128787
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.06.2025
Multifaceted Target For an Ion Source
WO2025128789
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.06.2025
System and method of verifying workpiece alignment
WO2025123052
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.06.2025
Electrostatic chuck with controllable temperature, ion implantation system using the same as well as method of controlling the temperature in said electrostatic chuck
WO2025117715
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.05.2025
High bandwidth variable dose ion implantation system and method
WO2025106994
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.05.2025
Deposition monitor for semiconductor manufacturing system
WO2025106288
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.05.2025
Apparatus and method for two-dimensional ion beam profiling
WO2025096998
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.04.2025
Actively Heated Target To Generate an Ion Beam
WO2025076203
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.04.2025
High energy implanter with small footprint
WO2025071984
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
03.04.2025
Twist and tilt verification using diffraction patterns
WO2025072193
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.03.2025
Multi-cathode ion source with feedback control
WO2025054632
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.05.2024
Wire Or Rod Shaped Extraction Electrode Optics
WO2024097079
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.02.2024
Ion implantation system and method for implanting aluminum using non-fluorine-containing halide species or molecules
WO2024026142
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.10.2023
Dual source injector with switchable analyzing magnet
WO2023192100
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.08.2023
Hydraulic feed system for an ion source
WO2023147108
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.07.2023
High incidence angle graphite for particle control with dedicated low sputter yield ion beam
WO2023140953
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.05.2023
Charge filter magnet with variable achromaticity
WO2023076492
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.05.2023
Shielded Gas Inlet For an Ion Source
WO2023076575
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.04.2023
Extended Lifetime Dual Indirectly-Heated Cathode Ion Source
WO2023055451
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.02.2023
Method and apparatus for continuous chained energy ion implantation
WO2023014962
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.02.2023
Blended Energy Ion Implantation
WO2023014889
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.11.2022
Ion source with multiple bias electrodes
WO2022240998
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.05.2022
Hybrid high-temperature electrostatic clamp for improved workpiece temperature uniformity
WO2022103903
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.05.2022
Etching Aluminum Nitride Or Aluminum Oxide To Generate an Aluminum Ion Beam
WO2022093404
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.05.2022
Fluorine Based Molecular Co-Gas When Running Dimethylaluminum Chloride As A Source Material To Generate an Aluminum Ion Beam
WO2022094381
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.01.2022
Hydrogen co-gas when using a chlorine-based ion source material
WO2022011330
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
354
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22
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
18
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13
Elektronik & Schaltungstechnik
12
Elektrische Energietechnik
8
Anorganische Chemie & Werkstoffe
6
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
3
Verfahrens- & Trenntechnik
2
Maschinenelemente & Fluidtechnik
2
Kunststoff- & Polymertechnik
1
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
1

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