Electro Scientific Industries
🇺🇸 USA aktiv
Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.
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Patente
334 gesamt| Patent | |||
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17.06.2026
Laserbearbeitungsvorrichtung zur Erleichterung der Gerichteten Inspektion von Laserbearbeiteten Werkstücken und Verfahren zum Betrieb Desselben Hintergrunds
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Zusammenfassung
A laser-processing apparatus for forming features in a workpiece includes at least one sensor for generating process control data representing a) at least one characteristic of the apparatus either before, during or after the workpiece is processed to form a set of features, b) at least one characteristic of the workpiece either before, during or after the workpiece is processed to form a set of features, and/or c) at least one characteristic of an ambient environment in which the apparatus is located either before, during or after the workpiece is processed to form a set of features. A controller executes, or facilitate execution of, a candidate feature selection process whereby process control data is processed to estimate whether any of the features formed in the workpiece are defective and the location of any feature estimated to be defective is identified. |
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25.03.2026
Laserbearbeitungsvorrichtung, Verfahren zum Betrieb davon und Verfahren zur Bearbeitung von Werkstücken damit
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Zusammenfassung
Numerous embodiments are disclosed. Many of which relate to methods of forming vias in workpieces such as printed circuit boards. Some embodiments relates techniques for indirectly ablating a region of an electrical conductor structure of, for example, a printed circuit board by spatially distributing laser energy throughout the region before the electrical conductor is indirectly ablated. Other embodiments relate to techniques for temporally-dividing laser pulses, modulating the optical power within laser pulses, and the like. |
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11.02.2026
System und Verfahren zum Thermostabilen Betrieb eines Akustooptischen Deflektors mit Reduzierten Akustischen Transienten
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Zusammenfassung
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11.02.2026
Phasengesteuerte Strahlsteuerung zur Materialverarbeitung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Zusammenfassung
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17.12.2025
Verfahren und Vorrichtung zur Kompensation Thermisch Induzierter Strahlausrichtungsfehler in einem Laserbearbeitungssystem
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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26.11.2025
Akustooptisches System mit Phasenwechselndem Reflektor
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Optik & Fototechnik
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Zusammenfassung
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12.11.2025
Laserbearbeitungsvorrichtung, Verfahren zum Betrieb davon und Verfahren zur Bearbeitung von Werkstücken unter Verwendung davon
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Optik & Fototechnik
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Zusammenfassung
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22.10.2025
Phasengesteuerte Strahllenkung für Materialbearbeitung
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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08.05.2025
Optics purge device
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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Status
Angemeldet am 24.10.2024
Anhängig
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09.04.2025
Laserbearbeitungsvorrichtung mit Lasersensorsystem und Verfahren zur Messung von Strahleigenschaften
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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