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Gigaphoton Patente

🇯🇵 Japan

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

539
Patente
2001–2023
Anmeldejahre
17
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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539 gesamt
Patent
02.07.2015
Excimer laser device and system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.07.2015
Target generating device
Elektronik & Schaltungstechnik
25.06.2015
Laser device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.06.2015
Target supply device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
18.06.2015
Target feed apparatus
Elektronik & Schaltungstechnik
28.05.2015
Laser apparatus and method for adding chamber to laser apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.05.2015
Gas purification system and laser device
Verfahrens- & Trenntechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik
28.05.2015
Gas laser device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.05.2015
Laser device and non-transitory computer-readable storage medium
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.05.2015
Extreme uv light generation device and extreme uv light generation device control method
Elektronik & Schaltungstechnik
07.05.2015
Euv-light generation device
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.04.2015
Laser device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.04.2015
Laser apparatus and extreme ultraviolet light generation system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
02.04.2015
Laser device and extreme uv light generation system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
26.03.2015
Target supply apparatus and euv light generating apparatus
Elektronik & Schaltungstechnik
26.03.2015
Extreme ultraviolet light generation device
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.03.2015
Laser amplifier and laser device, as well as extreme ultraviolet light generation system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.03.2015
Laser amplifier and laser device, as well as extreme ultraviolet light generation system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.03.2015
Extreme ultraviolet light generation apparatus and extreme ultraviolet light generation system
Elektronik & Schaltungstechnik
05.02.2015
Filter and target supply apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
29.01.2015
Laser system, extreme ultraviolet light generation system, and method for controlling laser device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.01.2015
Exposure device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.01.2015
Exposure device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.01.2015
Preionized discharge device and laser device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.12.2014
Light beam measurement device, laser device and light beam separation device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.12.2014
Light beam measurement device, laser device and light beam separation device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.12.2014
Extreme ultraviolet light generating system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
04.12.2014
Extreme ultraviolet generation system
Elektronik & Schaltungstechnik
04.12.2014
Laser device and method for controlling actuator
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.11.2014
Extreme ultraviolet light generating apparatus
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2014
Laser annealing device
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2014
Method for controlling wavelength of laser light, and laser apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.09.2014
Extreme ultraviolet light generating device, method for generating extreme ultraviolet light, convergent light beam measurement device for pulse laser light, and convergent light beam measurement method
Elektronik & Schaltungstechnik
12.09.2014
Process for forming semiconductor thin film
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.08.2014
Mirror device
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.08.2014
Laser device and extreme ultraviolet generating device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.08.2014
Laser device and extreme ultraviolet light generating device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.06.2014
Apparatus for controlling laser beam, and apparatus for generating extreme uv light
Elektronik & Schaltungstechnik
26.06.2014
Extreme ultraviolet light generation system and extreme ultraviolet generation apparatus
Elektronik & Schaltungstechnik
08.05.2014
Laser chamber and discharge-excited gas laser device
Maschinenelemente & Fluidtechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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