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Gigaphoton Patente

🇯🇵 Japan

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

539
Patente
2001–2023
Anmeldejahre
17
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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539 gesamt
Patent
04.10.2012
Laser device, laser apparatus, and extreme ultraviolet light generation system
WO2012131450
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
04.10.2012
Laser apparatus, method for generating laser beam, and extreme ultraviolet light generation system
WO2012131455
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.09.2012
Apparatus and method for generating extreme ultraviolet light
WO2012127290
Elektronik & Schaltungstechnik
30.08.2012
Laser apparatus, extreme ultraviolet light generation system including the laser apparatus, and method for controlling the laser apparatus
WO2012114172
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.08.2012
Optical system and extreme ultraviolet (euv) light generation system including the optical system
WO2012104670
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Optik & Fototechnik
07.06.2012
Optische Vorrichtung, Lasergerät und Erzeugug von Extremem Uv-Licht
WO2012073086
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.05.2012
Erzeugung von Extremem Uv-Licht
WO2012069898
Elektronik & Schaltungstechnik
01.12.2011
Solid-state laser device and laser system
WO2011148895
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.09.2011
Laser device
WO2011118380
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.08.2011
Chamber apparatus, and extreme ultraviolet light generating device
WO2011102162
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
25.08.2011
Laser device for exposure device
WO2011102486
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.02.2011
Extreme ultraviolet light source, method for controlling extreme ultraviolet light source, and recording medium in which program therefor is recorded
WO2011013779
Elektronik & Schaltungstechnik
23.12.2010
Euv light source device
WO2010147214
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.12.2010
Target output device and extreme ultraviolet light source device
WO2010137625
Elektronik & Schaltungstechnik
03.11.2010
Laservorrichtungsverwaltungssystem
EP1150401
Medizintechnik & Gesundheit Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
15.10.2009
Gas Discharge Chamber
WO2009125745
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.02.2005
Two-stage laser pulse energy control device and two-stage laser system
WO2005015699
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.11.2004
2-stage laser device for exposure
WO2004095661
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.11.2004
Debris collector for euv light generator
WO2004095895
Elektronik & Schaltungstechnik

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Die Kanzleien und Patentanwälte, die Gigaphoton vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
363
Optik & Fototechnik
173
Elektronik & Schaltungstechnik
166
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
30
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
13
Elektrische Energietechnik
11
Maschinenelemente & Fluidtechnik
5
Verfahrens- & Trenntechnik
3
Anorganische Chemie & Werkstoffe
2
Software & Datenverarbeitung
2
Medizintechnik & Gesundheit
1
Metallurgie & Oberflächentechnik
1

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