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Gigaphoton Patente

🇯🇵 Japan

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

539
Patente
2001–2023
Anmeldejahre
17
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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539 gesamt
Patent
03.03.2016
Laser device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.03.2016
Laser irradiation apparatus and laser irradiation method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.02.2016
Extreme ultraviolet light generation system and extreme ultraviolet light generation method
Elektronik & Schaltungstechnik
28.01.2016
Extreme ultraviolet light generation apparatus
Elektronik & Schaltungstechnik
28.01.2016
Extreme ultraviolet light generation apparatus
Elektronik & Schaltungstechnik
28.01.2016
Extreme Uv Light Generator
Elektronik & Schaltungstechnik
28.01.2016
Extreme ultraviolet light generation device
Elektronik & Schaltungstechnik
14.01.2016
Laser system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.01.2016
Extreme ultraviolet light generation device
Elektronik & Schaltungstechnik
07.01.2016
Target supply device, target material refining method, target material refining program, recording medium having target material refining program recorded therein, and target generator
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
07.01.2016
Laser device, euv generation system, and method for controlling laser device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.01.2016
Laser device, euv generation system, and method for controlling laser device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.12.2015
Gas laser device and capacitor
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.12.2015
Gas laser device and condenser
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.12.2015
Laser system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.12.2015
Laser system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.12.2015
Laser system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.12.2015
Laser system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.12.2015
Laser Chamber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.12.2015
Laser Chamber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.12.2015
Laser Chamber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.11.2015
Target-supplying device and euv-light-generating device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
05.11.2015
Extreme ultraviolet light generation apparatus
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
05.11.2015
Target-supplying device and euv-light-generating device
Elektronik & Schaltungstechnik
08.10.2015
Mirror device
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.10.2015
Laser system or laser exposure system
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.10.2015
Target supply apparatus, extreme ultraviolet light generating apparatus, and target supply method
Elektronik & Schaltungstechnik
30.09.2015
Laserbearbeitungsverfahren und Laserbearbeitungsvorrichtung
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Anorganische Chemie & Werkstoffe
24.09.2015
Laser system
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.09.2015
Gas laser device and control method therefor
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.09.2015
Laser device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.08.2015
Laser Chamber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.08.2015
Laser Chamber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.08.2015
Laser device and extreme ultraviolet light generation system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.07.2015
Laser device and euv-light generation system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.07.2015
Laser device and euv-light generation system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.07.2015
Extreme ultraviolet light generation apparatus
Elektronik & Schaltungstechnik
02.07.2015
Extreme Uv Light Generator
Elektronik & Schaltungstechnik
02.07.2015
Target generating device
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.07.2015
Excimer laser and excimer laser system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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