Tokyo Electron Patente
🇯🇵 Japan
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
Patente durchsuchen
2.414 gesamt| Patent | |||
|---|---|---|---|
|
11.02.2026
Ätzverfahren und Ätzvorrichtung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
21.01.2026
Wartungsarbeitsassistenzsystem, Steuerungsverfahren und Steuerungsprogramm
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Steuerungs- & Regelungstechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
21.01.2026
Substratverarbeitungsverfahren, Substratverarbeitungsvorrichtung und Software
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
21.01.2026
Ätzverfahren und Ätzvorrichtung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
10.12.2025
Ätzverfahren und Ätzvorrichtung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
26.11.2025
Inspektionssystem und Temperatursteuerungsverfahren
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
19.11.2025
Substratverarbeitungsverfahren und Substratverarbeitungssystem
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 22.01.2024
Anhängig
Vertretung
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
19.11.2025
Inspektionssystem und Temperatursteuerungsverfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
19.11.2025
Plasmabehandlungsvorrichtung und Plasmabehandlungsverfahren
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
13.11.2025
Verarbeitungssystem und Verarbeitungsverfahren
Anorganische Chemie & Werkstoffe
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
22.10.2025
Substratverarbeitungsverfahren und Substratverarbeitungsvorrichtung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 14.12.2023
Anhängig
Vertretung
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
22.10.2025
Substratverarbeitungsverfahren und Substratverarbeitungsvorrichtung
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 20.12.2023
Anhängig
Vertretung
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
08.10.2025
Substrattransportverfahren und Substratbehandlungssystem
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
24.09.2025
Plasmaverarbeitungsvorrichtung, Stromversorgungssystem und Frequenzsteuerungsverfahren
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
17.09.2025
Substratverarbeitungsverfahren, Zusammensetzung zur Bildung eines Metallhaltigen Resists, Metallhaltiger Resist und Substratverarbeitungssystem
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
17.09.2025
Plasmaverarbeitungsvorrichtung, Stromversorgungssystem und Verfahren zur Steuerung der Quellenfrequenz
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
17.09.2025
Trockenentwicklungsverfahren und Trockenentwicklungsverfahren
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 13.11.2023
Anhängig
Vertretung
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
10.09.2025
Stromversorgungs- und Prüfvorrichtung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
27.08.2025
Substratverarbeitungsvorrichtung und Substratverarbeitungsverfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 15.02.2023
Anhängig
Vertretung
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
13.08.2025
Substratverarbeitungssystem und Verfahren zur Erkennung von Substratanomalien
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
06.08.2025
Polierte Temperaturgeregelte Bühne
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
30.07.2025
Elektrostatischer Träger, Behandlungssystem und Behandlungsverfahren
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Status
Angemeldet am 03.03.2023
Anhängig
Vertretung
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
23.07.2025
Substratverarbeitungsverfahren und Substratverarbeitungssystem
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
16.07.2025
Verfahren zur Herstellung einer Feuchtigkeitsbarriere auf Lichtempfindlichen Organometallischen Oxiden
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
25.06.2025
Halbleiterstruktur und Verfahren zur Herstellung einer Halbleiterstruktur
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
25.06.2025
Verfahren zur Herstellung eines Halbleitermusters
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
25.06.2025
Prozessor zur Implementierung Indirekter Bedingter Adressierungsartsprungbefehle, Programmaufzeichnungsmedium und Verfahren
Software & Datenverarbeitung
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
04.06.2025
Plasmaverarbeitungsvorrichtung und Verfahren zur Steuerung der Quellenfrequenz von Hochfrequenter Elektrischer Quellenleistung
Elektronik & Schaltungstechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
04.06.2025
Substratverarbeitungsverfahren und Substratverarbeitungssystem
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
04.06.2025
Substratverarbeitungsverfahren und Substratverarbeitungssystem
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
21.05.2025
Verfahren zur Verarbeitung eines Substrats und System zur Verarbeitung eines Substrats
Optik & Fototechnik
|
|||
|
Status
Angemeldet am 27.06.2023
Anhängig
Vertretung
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
23.04.2025
Substratverarbeitungsverfahren und Substratverarbeitungssystem
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
02.04.2025
Prozessor zur Steuerung einer Pipelineverarbeitung auf Basis von Sprungbefehlen und Programmspeichermedium
Software & Datenverarbeitung
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
27.03.2025
Methods and devices for improving bond strength of diffusion barriers
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
27.03.2025
Verfahren zur Flächenselektiven Abscheidung auf Extrem-Ultraviolett (euv)-Fotolacken
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
12.03.2025
Plasmaverarbeitungsverfahren und Plasmaverarbeitungsvorrichtung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
06.03.2025
Elektrostatische Einspannvorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Elektrostatischen Einspannvorrichtung
|
|||
|
Zusammenfassung
A technique reduces scratches on the back surface of a substrate held on an electrostatic chuck. An electrostatic chuck for holding a substrate includes a dielectric member, and an electrode in the dielectric member. The dielectric member includes an upper surface, and a plurality of projections projecting upward from the upper surface. The plurality of projections support a substrate. Each of the plurality of projections includes a crystalline base and an amorphous surface layer on the crystalline base. |
|||
|
27.02.2025
Substratverarbeitungsvorrichtung und Förderverfahren
Verpackungs- & Fördertechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
|
27.02.2025
Substratverarbeitungsvorrichtung und Förderverfahren
|
|||
|
Zusammenfassung
A substrate processing apparatus that performs processing on a substrate which is accommodated in a cassette and is to be transferred, includes: at least one transfer block configured to transfer the substrate in an interior of the at least one transfer block; a substrate processing module configured to perform the processing on the substrate; and a cassette transfer mechanism configured to transfer the cassette between a delivery position set on an outer surface of the substrate processing apparatus and a loading/unloading position at which the cassette is loaded into and unloaded from an interior of the substrate processing apparatus. The cassette transfer mechanism includes a stage on which the cassette is placed, and a moving mechanism configured to move the cassette placed on the stage. |
|||
|
12.02.2025
Verfahren und Vorrichtung zur Steuerung einer Testvorrichtung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
|
|||
|
Zusammenfassung
Zusammenfassung wird geladen … |
|||
Wer vertritt Tokyo Electron?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Tokyo Electron vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
Zum Anmelder-Profil