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Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.254
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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6.254 gesamt
Patent
11.02.2026
Ätzverfahren und Ätzvorrichtung
EP4693376
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.02.2026
Optical Wafer Monitoring
WO2026029809
05.02.2026
Angled beam exposure for hardmask based modification
WO2026029803
05.02.2026
Substrate processing apparatus and substrate processing method
WO2026028885
05.02.2026
Measurement device, grinding system, and measurement method
WO2026028847
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.02.2026
Plasma processing device
WO2026028818
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
05.02.2026
Substrate holding mechanism, substrate processing device, and control method
WO2026028899
05.02.2026
Processing system and processing method
WO2026028817
05.02.2026
Film forming apparatus
WO2026028898
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.02.2026
Film formation method and film formation device
WO2026028787
29.01.2026
Processing system, removal jig, and removal method
WO2026023472
29.01.2026
Thermally Conductive Substrate Bonding Interface
WO2026024324
29.01.2026
Etching system for forming recessed features with high aspect ratio
WO2026024322
29.01.2026
Metal Recess Depth Measurements By Capacitor Test Structure
WO2026024325
29.01.2026
Imaging mask stacks and methods for lithographically patterning a substrate
WO2026024355
29.01.2026
Pitch splitting for euv imaging
WO2026024423
Optik & Fototechnik
29.01.2026
System and method for process chemistry abatement and recycling
WO2026024523
29.01.2026
Method for manufacturing coated member, and film treatment device
WO2026023337
Metallurgie & Oberflächentechnik Elektronik & Schaltungstechnik
29.01.2026
Stage and substrate processing device
WO2026023419
29.01.2026
Stage, substrate processing device, and temperature adjustment method
WO2026023420
29.01.2026
Information processing method, computer program, and information processing device
WO2026023476
29.01.2026
Bonding device and bonding method
WO2026023473
22.01.2026
Plasma processing apparatus, bias power source, and plasma processing method
WO2026018704
22.01.2026
Plasma processing apparatus and upper electrode assembly
WO2026018686
22.01.2026
Plasma treatment device and recipe registration method
WO2026018701
22.01.2026
Plasma treatment device and power source system
WO2026018730
22.01.2026
Method for treating substrate, and apparatus for treating substrate
WO2026018725
22.01.2026
Plasma processing apparatus and control method
WO2026018635
Elektronik & Schaltungstechnik
22.01.2026
Lifting device and lifting method
WO2026018559
22.01.2026
Film formation method and film formation device
WO2026018558
22.01.2026
Inspection apparatus and inspection jig
WO2026018739
22.01.2026
System and method for reducing electrical power consumption of hot plate
WO2026019530
22.01.2026
Substrate processing system using an optical pattern
WO2026019460
22.01.2026
Selective etch of titanium carbide materials using oxidation
WO2026019463
22.01.2026
Novel overlayer films and methods for etching silicon-containing materials using a low temperature dry chemical etch process
WO2026019469
21.01.2026
Substratverarbeitungsverfahren, Substratverarbeitungsvorrichtung und Software
EP4682938
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.01.2026
Wartungsarbeitsassistenzsystem, Steuerungsverfahren und Steuerungsprogramm
EP4682937
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
21.01.2026
Ätzverfahren und Ätzvorrichtung
EP4682940
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.01.2026
Method and apparatus for forming metal nitride film containing oxygen
WO2026014281
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.01.2026
Height Adjustment Tool
WO2026014278

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Technologiefelder

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Metallurgie & Oberflächentechnik
1.560
Elektronik & Schaltungstechnik
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454
Optik & Fototechnik
400
Verfahrens- & Trenntechnik
290
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
234
Software & Datenverarbeitung
145
Steuerungs- & Regelungstechnik
141
Verpackungs- & Fördertechnik
82
Anorganische Chemie & Werkstoffe
69
Maschinenelemente & Fluidtechnik
56

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