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Tokyo Electron Patente

🇯🇵 Japan

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

6.250
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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6.250 gesamt
Patent
23.11.2000
Method and apparatus for processing
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.11.2000
Pecvd von Tantalschichten aus Tantalhalogeniden als Vorläuferverbindungen
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.11.2000
Verfahren und Vorrichtung zur Dampfzuführung zu einer Cvd-Kammer
Metallurgie & Oberflächentechnik
02.11.2000
Bildung eines Titannitridstöpsels durch Cvd aus Titanhalogenid-Vorläuferverbindungen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.11.2000
Thermische Cvd von Tantalnitrid-Filmen aus Tantalhalogenid-Vorläufern
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.11.2000
Herstellung eines Tantalnitrid-Stöpsels aus Tantalhalogonid-Vorläufern mittels Cvd
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.10.2000
Temperature measurement system
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
05.10.2000
Temperature measuring system
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
24.08.2000
Gerät und Verfahren zur Elektrostatischer Abschirmung einer Induktiv Gekoppelter Plasmaquelle und zur Erleichterung der Plasma Zündung
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.08.2000
Etching system and etching chamber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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