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ACM Research (Shanghai) Patente

🇨🇳 China

ACM Research (Shanghai) ist die chinesische Tochtergesellschaft des US-notierten Halbleiterausrüsters ACM Research mit Sitz in Shanghai, der Reinigungs- und Beschichtungsanlagen für die Chipfertigung herstellt. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Verfahrenstechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum von 2007 bis 2025 ab.

260
Patente
2007–2025
Anmeldejahre
18
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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260 gesamt
Patent
02.10.2025
Loading chamber and semiconductor device
WO2025201055
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2025
Wafer processing cavity, wafer processing device and wafer processing apparatus
WO2025201050
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2025
Electroplating chuck for square substrate and electroplating method
WO2025200880
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2025
Substrate electroplating method and device and deformable diffusion plate
WO2025200879
Metallurgie & Oberflächentechnik
02.10.2025
Substrate processing apparatus, processing method and buffer module
WO2025201034
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2025
Tank cover and substrate liquid processing tank
WO2025200868
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2025
Substrate cleaning device and wet apparatus
WO2025200949
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.09.2025
Spray Head
WO2025195252
Metallurgie & Oberflächentechnik
18.09.2025
Substrate cleaning apparatus, and method
WO2025190043
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.09.2025
Supercritical-fluid drying device
WO2025190042
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.09.2025
Wafer boat and furnace tube device
WO2025190041
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.09.2025
Substrate transfer apparatus and substrate processing apparatus
WO2025189949
Verpackungs- & Fördertechnik
18.09.2025
Substrate treatment apparatus
WO2025190016
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.09.2025
Drying device
WO2025190018
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.08.2025
Trocknungsvorrichtung und Verfahren zum Trocknen eines Substrats unter Verwendung eines Überkritischen Fluids
EP4603778
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
14.08.2025
Airflow regulating structure and airflow regulating method
WO2025167498
Metallurgie & Oberflächentechnik
14.08.2025
Wafer processing method and wafer processing apparatus
WO2025167375
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.08.2025
Wafer transfer platform and wafer transfer method
WO2025167374
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.08.2025
Air isolation apparatus and substrate processing device
WO2025161966
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.07.2025
Substrate detection apparatus
WO2025156916
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.07.2025
Substratverarbeitungsvorrichtung
EP4593058
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.07.2025
Vorrichtung und Verfahren zur Einstellung der Zentrierung eines Wafers
EP4589644
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.07.2025
Electroplating device and substrate cleaning method
WO2025148643
Verfahrens- & Trenntechnik Metallurgie & Oberflächentechnik
17.07.2025
Electroplating device and cleaning method
WO2025148618
Metallurgie & Oberflächentechnik
17.07.2025
Substrate control device and semiconductor reaction chamber
WO2025148637
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.07.2025
Electroplating apparatus and cleaning method
WO2025148638
Metallurgie & Oberflächentechnik
10.07.2025
Wafer electroplating device
WO2025145828
Metallurgie & Oberflächentechnik
03.07.2025
Substrate clamping device for substrate chuck and tooling and method for adjusting same
WO2025139857
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.07.2025
Furnace tube device
WO2025139605
Metallurgie & Oberflächentechnik
03.07.2025
Electroplating device for square substrate
WO2025139604
Metallurgie & Oberflächentechnik
03.07.2025
Nozzle cleaning apparatus and method for coating and developing device
WO2025139852
Verfahrens- & Trenntechnik
03.07.2025
Substrate treatment apparatus
WO2025139854
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.06.2025
Substrate processing apparatus
WO2025130562
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.06.2025
Thin film deposition apparatus, thin film deposition method, and thin film deposition device
WO2025130558
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.06.2025
Thin film deposition device and thin film deposition method
WO2025130703
Metallurgie & Oberflächentechnik
26.06.2025
Electroplating solution backflow control system and method
WO2025130783
Metallurgie & Oberflächentechnik
26.06.2025
Electroplating solution backflow control system and control method
WO2025130704
Metallurgie & Oberflächentechnik
05.06.2025
Electroplating fixture, electroplating device, and electroplating fixture detection method
WO2025112883
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.06.2025
Substrate clamping apparatus and method
WO2025112891
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.06.2025
Cleaning device and wet method apparatus
WO2025112894
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
175
Metallurgie & Oberflächentechnik
80
Verfahrens- & Trenntechnik
38
Optik & Fototechnik
11
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
7
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
7
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
5
Maschinenelemente & Fluidtechnik
4
Steuerungs- & Regelungstechnik
3
Verpackungs- & Fördertechnik
2
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
2
Sport, Freizeit & Sicherheitstechnik
1

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