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ACM Research (Shanghai) Patente

🇨🇳 China

ACM Research (Shanghai) ist die chinesische Tochtergesellschaft des US-notierten Halbleiterausrüsters ACM Research mit Sitz in Shanghai, der Reinigungs- und Beschichtungsanlagen für die Chipfertigung herstellt. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Verfahrenstechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum von 2007 bis 2025 ab.

260
Patente
2007–2025
Anmeldejahre
18
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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260 gesamt
Patent
05.06.2025
Electroplating fixture, electroplating device, and electroplating fixture detection method
WO2025112883
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.05.2025
Connecting apparatus, substrate thermal treatment unit, and coating and developing device
WO2025107892
Optik & Fototechnik
30.05.2025
Substrate bearing device and substrate processing apparatus
WO2025107891
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.05.2025
Electroplating method and electroplating apparatus
WO2025107904
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.05.2025
Electroplating apparatus and electroplating method for non-circular substrate
WO2025107905
Metallurgie & Oberflächentechnik
15.05.2025
Wafer cleaning method and apparatus
WO2025098060
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.05.2025
Control system for bubbles in liquid film, and wafer cleaning device and wafer cleaning method
WO2025098061
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.05.2025
Position demonstration apparatus and position demonstration method
WO2025092369
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.05.2025
Substrate electroplating apparatus and method
WO2025087010
Metallurgie & Oberflächentechnik
01.05.2025
Sensor Fixing Structure
WO2025087009
Maschinenelemente & Fluidtechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
03.04.2025
Moisture removal device and electroplating apparatus
WO2025066699
Metallurgie & Oberflächentechnik
03.04.2025
Thin film deposition device and thin film deposition method
WO2025066760
Metallurgie & Oberflächentechnik
03.04.2025
Wafer chuck device and wafer clamping state detection method
WO2025066759
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.04.2025
Pressure monitoring apparatus, semiconductor cleaning device, and monitoring method therefor
WO2025066823
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
03.04.2025
Substrate holding device
WO2025066708
Metallurgie & Oberflächentechnik
03.04.2025
Method for improving uniformity of wafer electroplating thickness
WO2025066713
Metallurgie & Oberflächentechnik
03.04.2025
Substrate processing device
WO2025066698
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.03.2025
Substrate clamp and substrate treatment device
WO2025055701
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.03.2025
Substrate treatment method and substrate treatment device
WO2025055566
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.03.2025
Wafer drying device and wafer drying method
WO2025044579
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.03.2025
Real-time solution temperature control system and method
WO2025044605
Steuerungs- & Regelungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.03.2025
Electroplating device
WO2025044580
Metallurgie & Oberflächentechnik
06.03.2025
Contact member, chuck, and electroplating device
WO2025044559
Metallurgie & Oberflächentechnik
06.03.2025
Wafer cleaning apparatus and method
WO2025044556
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.03.2025
Electrochemical etching method and electrochemical etching device
WO2025044560
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.02.2025
Position detection apparatus, semiconductor device, and method for measuring offset of substrate
WO2025031017
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.02.2025
Electroplating device having function of monitoring the status of ionic membrane in electroplating chamber and monitoring method
WO2025031016
Metallurgie & Oberflächentechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
13.02.2025
Thin film deposition apparatus and thin film deposition method
WO2025031015
Metallurgie & Oberflächentechnik
06.02.2025
Electroplating device
WO2025025847
Metallurgie & Oberflächentechnik
30.01.2025
Optical measurement apparatus for measuring thickness of deposited film layer, and furnace tube device and control method
WO2025020741
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.01.2025
Drying device
WO2025007634
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.01.2025
Wafer cleaning method
WO2025001506
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.01.2025
Substrate treatment method and device
WO2025001521
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.01.2025
Electroplating device and electroplating method
WO2025001522
Metallurgie & Oberflächentechnik
02.01.2025
Wafer transfer device with liquid discharging function
WO2025001507
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.01.2025
Wafer cleaning apparatus
WO2025001501
Verfahrens- & Trenntechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
02.01.2025
Agitating mechanism of electroplating apparatus, electroplating apparatus, and electroplating method
WO2025001523
Metallurgie & Oberflächentechnik
02.01.2025
Electrostatic eliminating device and method for electroplating apparatus
WO2025001502
Elektronik & Schaltungstechnik
25.12.2024
Substratreinigungsvorrichtung und Wendevorrichtung dafür
EP4481798
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.12.2024
Drying medium recovery system and semiconductor drying apparatus
WO2024255481
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
175
Metallurgie & Oberflächentechnik
80
Verfahrens- & Trenntechnik
38
Optik & Fototechnik
11
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
7
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
7
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
5
Maschinenelemente & Fluidtechnik
4
Steuerungs- & Regelungstechnik
3
Verpackungs- & Fördertechnik
2
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
2
Sport, Freizeit & Sicherheitstechnik
1

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