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ACM Research (Shanghai) Patente

🇨🇳 China

ACM Research (Shanghai) ist die chinesische Tochtergesellschaft des US-notierten Halbleiterausrüsters ACM Research mit Sitz in Shanghai, der Reinigungs- und Beschichtungsanlagen für die Chipfertigung herstellt. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Verfahrenstechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum von 2007 bis 2025 ab.

260
Patente
2007–2025
Anmeldejahre
18
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

Patente durchsuchen

260 gesamt
Patent
14.03.2019
Method and apparatus for cleaning semiconductor wafer
WO2019047140
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.03.2019
Plating apparatus
WO2019041154
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.10.2018
Substrate cleaning apparatus
WO2018176306
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.10.2018
Exhaust apparatus
WO2018176308
Maschinenelemente & Fluidtechnik
13.09.2018
Apparatus for cleaning semiconductor substrates
WO2018161205
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.05.2018
Apparatus and method for cleaning semiconductor wafers
WO2018076152
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.05.2018
Apparatus and method for wet process on semiconductor substrate
WO2018076151
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.01.2018
Substrate supporting apparatus
WO2018006283
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.10.2017
Tsv structure planarization process and apparatus
WO2017173613
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.10.2017
Methods and apparatus for cleaning semiconductor wafers
WO2017173588
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.09.2017
Substrate heat treatment apparatus
WO2017156758
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.06.2017
Method and apparatus for cleaning substrates using high temperature chemicals and ultrasonic device
WO2017096553
Verfahrens- & Trenntechnik Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
08.06.2017
Apparatus for holding substrate
WO2017092029
Metallurgie & Oberflächentechnik
26.05.2017
Robot arm for transporting semiconductor substrates
WO2017084079
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.05.2017
Method for electrochemical polish in constant voltage mode
WO2017070924
Metallurgie & Oberflächentechnik
06.04.2017
Apparatus and methods for cleaning wafers
WO2017054146
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.02.2017
Method for processing interconnection structure for minimizing barrier sidewall recess
WO2017024540
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.12.2016
Hybrid substrate processing system for dry and wet process and substrate processing method thereof
WO2016204424
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.11.2016
Methods and apparatus for cleaning semiconductor wafers
WO2016183707
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.11.2016
Apparatus for substrate bevel and backside protection
WO2016179818
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.08.2016
Method and apparatus for integrated substrate cleaning and drying
WO2016127423
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.08.2016
Method for removing barrier layer for minimizing sidewall recess
WO2016127425
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.08.2016
Method for optimizing metal planarization process
WO2016127424
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.08.2016
A fall-proof apparatus for cleaning semiconductor devices and a chamber with the apparatus
WO2016127635
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.06.2016
Apparatus and method for uniform metallization on substrate
WO2016082093
Metallurgie & Oberflächentechnik
21.04.2016
Barrier layer removal method and semiconductor structure forming method
WO2016058175
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.04.2016
Barrier layer removal method and semiconductor structure forming method
WO2016058174
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.03.2016
Apparatus and method for cleaning semiconductor wafer
WO2016045072
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.03.2016
Coater with automatic cleaning function and coater automatic cleaning method
WO2016041151
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.01.2016
Method for forming metal interconnection
WO2016004573
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.12.2015
Apparatus and method for removing film on edge of backside of wafer
WO2015184628
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.12.2014
Apparatus and method for taping adhesive film on semiconductor substrate
WO2014201627
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.11.2014
Apparatus and method for plating and/or polishing wafer
WO2014179968
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.10.2014
Method and apparatus for uniformly metallization on substrate
WO2014172837
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.10.2014
Method and apparatus for through-silicon vias reveal
WO2014172835
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.06.2014
Semiconductor wafer polishing method
WO2014089731
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.06.2014
Method for forming interconnection structures
WO2014082197
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.06.2014
Method and apparatus for cleaning semiconductor wafer
WO2014082212
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.06.2014
Substrate supporting apparatus
WO2014082196
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.11.2013
Loadlock chamber and method for treating substrates using the same
WO2013173999
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
175
Metallurgie & Oberflächentechnik
80
Verfahrens- & Trenntechnik
38
Optik & Fototechnik
11
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
7
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
7
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
5
Maschinenelemente & Fluidtechnik
4
Steuerungs- & Regelungstechnik
3
Verpackungs- & Fördertechnik
2
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
2
Sport, Freizeit & Sicherheitstechnik
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