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Axcelis Technologies Patente

🇺🇸 USA

Axcelis Technologies, Inc. ist ein US-amerikanischer Hersteller von Ionenimplantationsanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Beverly, Massachusetts. Das Patentportfolio ist fast vollständig auf Halbleiter und elektrische Bauelemente konzentriert, ergänzt um Oberflächentechnik und Mess- und Prüftechnik. Das Unternehmen meldet durchgehend seit 2000 an.

377
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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377 gesamt
Patent
20.06.2013
System and method for ion implantation with improved productivity and uniformity
WO2013089807
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.06.2013
Automatic control system for selection and optimization of co-gas flow levels
WO2013081647
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.02.2013
Improved uniformity of a scanned ion beam
WO2013028227
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.11.2012
Mass Analysis Variable Exit Aperture
WO2012161745
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.11.2012
Rf Coupled Plasma Abatement System Comprising an Integrated Power Oscillator
WO2012154217
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.10.2012
Improved uniformity of a scanned ion beam
WO2012134600
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.10.2012
Method and apparatus for improved uniformity control with dynamic beam shaping
WO2012134601
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.09.2012
Einstellungshardware für ein Plasmaveraschungsgerät und Anwendungsverfahren dafür
EP2502256
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.09.2012
Verfahren und Vorrichtung zur Reinigung von Rückständen aus einer Ionenquellenkomponente
EP2499653
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.07.2012
Vorrichtung zur Strahlwinkelmessung in der Ionenimplantation
EP2304765
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.06.2012
Plasmavorrichtung, Gasverteilungsanordnung für eine Plasmavorrichtung und Verfahren damit
EP2278608
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.06.2012
Ionenstrahl-Winkelmesssysteme und -Verfahren für die Ionenimplantation unter Verwendung eines Arrays von Spalten mit Unterschiedlichen Winkelakzeptanzbereichen
EP1964149
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.05.2012
Hydrogen cogas for carbon implant
WO2012067652
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.05.2012
Implementation of co-gases for germanium and boron ion implants
WO2012067653
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.05.2012
Post implant wafer heating using light
WO2012064371
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.03.2012
Versorgungsschlauch-Verbindung für einen Ionenstrahlimplantierer
EP1692715
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.02.2012
Plasma Mediated Ashing Processes
WO2012018374
Optik & Fototechnik
09.02.2012
Plasma Mediated Ashing Processes
WO2012018375
Optik & Fototechnik
02.02.2012
Versatile beam glitch detection system
WO2012015474
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.12.2011
Heated Electrostatic Chuck Including Mechanical Clamp Capability At High Temperature
WO2011155986
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.12.2011
Heated Annulus Chuck
WO2011155987
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.12.2011
Effective algorithm for warming a twist axis for cold ion implantations
WO2011152866
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.12.2011
Ionisator, Ionenquelle mit einem solchen Ionisator und Verfahren zur Kühlung eines Ionisators
EP1093149
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.12.2011
Antriebssystem um ein Werkstück mit einem Ionenstrahl abzutasten
EP2230681
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.12.2011
Matched coefficient of thermal expansion for an electrostatic chuck
WO2011149541
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.12.2011
Active dew point sensing and load lock venting to prevent condensation of workpieces
WO2011149542
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.12.2011
Heated rotary seal and bearing for chilled ion implantation system
WO2011149546
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.11.2011
Ionenstrahlwinkelkalibrier- und Emittanzmesssystem für Bandstrahlen
EP2389679
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.11.2011
Einspannvorrichtung nicht Kondensierender Thermos
EP2389682
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.11.2011
Erweiterter Niederenergie-Ionenstrahltransport bei der Ionenimplantation
EP2389680
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.11.2011
Hybrider Magnetischer/elektrostatischer Deflektor für Ionenimplantationssysteme
EP1634316
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.11.2011
Werkstückhaltestruktur mit Verstellbarem Implantationswinkel für einen Ionenimplanter unter Verwendung eines Linearen Scanmotors
EP1611592
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.11.2011
Throughput enhancement for scanned beam ion implanters
WO2011139340
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.11.2011
Magnetic scanning system with improved efficiency
WO2011136851
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.10.2011
Silaborane Implantation Processes
WO2011133223
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.10.2011
In-vacuum beam defining aperture cleaning for particle reduction
WO2011126538
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.09.2011
Vapor compression refrigeration chuck for ion implanters
WO2011115675
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.09.2011
Method for improving implant uniformity during photoresist outgassing
WO2011109115
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.07.2011
Frontend von Plasmalinien Vermittelten Veraschungsprozessen und Vorrichtung
EP2347439
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.07.2011
Justierbare Ablenkoptik für Ionenimplantation
EP2340549
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Wer vertritt Axcelis Technologies?

Die Kanzleien und Patentanwälte, die Axcelis Technologies vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
354
Metallurgie & Oberflächentechnik
22
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
18
Optik & Fototechnik
13
Elektronik & Schaltungstechnik
12
Elektrische Energietechnik
8
Anorganische Chemie & Werkstoffe
6
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
3
Verfahrens- & Trenntechnik
2
Maschinenelemente & Fluidtechnik
2
Kunststoff- & Polymertechnik
1
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
1

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