Axcelis Technologies Patente

🇺🇸 USA

Axcelis Technologies, Inc. ist ein US-amerikanischer Hersteller von Ionenimplantationsanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Beverly, Massachusetts. Das Patentportfolio ist fast vollständig auf Halbleiter und elektrische Bauelemente konzentriert, ergänzt um Oberflächentechnik und Mess- und Prüftechnik. Das Unternehmen meldet durchgehend seit 2000 an.

377

Patente

2000–2025

Anmeldejahre

Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

Patente durchsuchen

377 gesamt

Anmeldejahr

Veröffentlicht	Patent	Land
06.07.2011	06.07.2011 Ionenimplantations-Strahlwinkelkalibration EP1955357 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.11.2006 Erteilt am 06.07.2011 Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.06.2011	15.06.2011 Gaszufuhrvorrichtung für Ionenimplantierungsgeräte EP1316104 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.08.2001 Erteilt am 15.06.2011 Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Whitlock, Holly Elizabeth Ann · London Maucher Jenkins Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
01.06.2011	01.06.2011 Remote-Plasmagenerator EP1177112 Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.04.2000 Erteilt am 01.06.2011 Vertretung Heuckeroth, Volker · Stuttgart Heuckeroth, Volker · Stuttgart Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
13.04.2011	13.04.2011 Stromabwärts-Plasmabehandlungsgerät EP1625605 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.05.2004 Erteilt am 13.04.2011 Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Whitlock, Holly Elizabeth Ann · London Maucher Jenkins Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.04.2011	06.04.2011 System und Verfahren zur Minderung von Partikeln und Kontamination mittels Abstimmung von Komplementären Strahlöffnungsformen auf Strahlformen EP2304764 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.06.2009 Anhängig Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.04.2011	06.04.2011 Einem Verzögerer Nachgestelltes Magnetisches Energiefilter für Ionenimplantationssysteme EP2304763 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.06.2009 Anhängig Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
23.03.2011	23.03.2011 System und Verfahren zur Steuerung einer Breitbanduniformität EP2297764 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.06.2009 Anhängig Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.03.2011	02.03.2011 Mehrachsiges und Multidirektionales System mit Geringer Trägheit zur Implantation Mechanisch Gescannter Ionen EP2289088 Maschinenelemente & Fluidtechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.06.2009 Anhängig Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.03.2011	02.03.2011 Antriebssystem um ein Werkstück mit einem ionenstrahl abzutasten EP2264739 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.04.2005 Anhängig Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
16.02.2011	16.02.2011 Steuerung von Partikeln auf Halbleiterwafern bei der Implantation von Boronhydriden EP2283509 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.05.2009 Anhängig Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.01.2011	20.01.2011 Adjustable Louvered Plasma Electron Flood Enclosure WO2011008288 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 15.07.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.01.2011	06.01.2011 Use of beam scanning to improve uniformity and productivity of a 2d mechanical scan implantation system WO2011002513 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 01.07.2010 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.01.2011	05.01.2011 Elektrostatisches Gaslagerfutter EP2269214 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.04.2009 Anhängig Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.12.2010	29.12.2010 Strahlrohrarchitektur mit Geringer Kontamination und Geringem Energieverbrauch für eine Hochleistungs-Ionenimplantation EP2266128 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.04.2009 Anhängig Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.12.2010	29.12.2010 Ionenquelle mit Einstellbarer Öffnung EP2266127 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.04.2009 Anhängig Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
29.12.2010	29.12.2010 Verfahren zum Messen eines Strahlwinkels EP1864312 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.03.2006 Erteilt am 29.12.2010 Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.12.2010	22.12.2010 Segmentierte Prallplatte für ein Plasmaverarbeitungssystem EP1741124 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.04.2005 Erteilt am 22.12.2010 Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.12.2010	22.12.2010 Aktiv gekühlte Verteilungsplatte zur Temperaturreduzierung der reaktiven Gase in einem Plasmabehandlungssystem EP1770753 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.04.2001 Erteilt am 22.12.2010 Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
22.12.2010	22.12.2010 Verfahren zur Überwachung der Konzentrationen von Sauerstoff- Und/oder Stickstoffspezies in einem Weitgehend Sauerstoff- und Stickstofffreien Plasmaveraschungsverfahren EP1999515 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 09.03.2007 Erteilt am 22.12.2010 Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.11.2010	04.11.2010 System and method of performing uniform dose implantation under adverse conditions WO2010126470 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 29.05.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
06.10.2010	06.10.2010 Vereinfachte Wafer-Ausrichtung EP1741126 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.04.2005 Erteilt am 06.10.2010 Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
25.08.2010	25.08.2010 Ionenquelle zur Verwendung für einen Ionenimplantator EP1844487 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 31.01.2006 Erteilt am 25.08.2010 Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.08.2010	04.08.2010 Antriebssystem zum Scannen eines Arbeitsstücks mit einem Ionenstrahl EP1738393 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.04.2005 Erteilt am 04.08.2010 Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
15.07.2010	15.07.2010 Ion implantation with diminished scanning field effects WO2010080097 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.12.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
14.07.2010	14.07.2010 Plasmaelektronenfluss für einen Ionenimplanter EP2206137 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 06.11.2008 Anhängig Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
07.07.2010	07.07.2010 Doppelplasmaionenquelle EP2203928 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 22.10.2008 Anhängig Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
30.06.2010	30.06.2010 Verfahren zur Korrektur des Waferkristall-Schneidfehlers bei der Halbleiterverarbeitung EP1706896 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.01.2005 Erteilt am 30.06.2010 Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Whitlock, Holly Elizabeth Ann · London Maucher Jenkins Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.06.2010	17.06.2010 De-Clamping Wafers From an Electrostatic Chuck WO2010068268 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.12.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
17.06.2010	17.06.2010 Electrostatic chuck with compliant coat WO2010068294 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.12.2009 Anhängig Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.06.2010	09.06.2010 Strahlungs-Wärme-Quelle EP1593146 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.02.2004 Erteilt am 09.06.2010 Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.06.2010	02.06.2010 Verfahren zum Umlenken eines Arbeitsstücks durch einen Ionenstrahl EP1738394 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.04.2005 Erteilt am 02.06.2010 Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
28.04.2010	28.04.2010 Vorrichtung und Verfahren zur Säuberung von kontaminierten Oberflächen in einem Ionen-Implantierungsgerät EP1052676 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.05.2000 Erteilt am 28.04.2010 Vertretung West, Alan Harry · London Jacob, Reuben Ellis · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
31.03.2010	31.03.2010 Verfahren und Vorrichtung für Mikrojet Aktivierte, Niederenergetische Ionen-Erzeugung und -Transport in der Plasmabehandlung EP1410418 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.07.2002 Erteilt am 31.03.2010 Vertretung Jenkins, Richard Gray · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
24.02.2010	24.02.2010 Gasverteilungsplattenbaugruppe für Plasmareaktoren EP1706889 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 12.01.2005 Erteilt am 24.02.2010 Vertretung Burke, Steven David · London Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
20.01.2010	20.01.2010 Auf Fluor Basierende Reinigung einer Ionenquelle EP1964148 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 20.12.2006 Erteilt am 20.01.2010 Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
09.09.2009	09.09.2009 Elektrostatische Linse für Ionenstrahlen EP2099056 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.07.2005 Anhängig Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.09.2009	02.09.2009 Ringklemmung und Rückseitig Gasgekühltes Elektrostatisches Spannfutter EP2095414 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.11.2007 Anhängig Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.09.2009	02.09.2009 Hochdurchsatz-Endstation zur Seriellen Handhabung von Wafern EP2095401 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.11.2007 Anhängig Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
02.09.2009	02.09.2009 Hochdurchsatz-Waferkerbenausrichter EP2095413 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 30.11.2007 Anhängig Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
05.08.2009	05.08.2009 Ionenstrahl-Abtaststeuerverfahren und Systeme für Ionenimplantationsgleichförmigkeit EP2084729 Halbleiter & Elektrische Bauelemente	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 10.04.2007 Anhängig Vertretung Treeby, Philip David William · London Maucher Jenkins Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen