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Axcelis Technologies Patente

🇺🇸 USA

Axcelis Technologies, Inc. ist ein US-amerikanischer Hersteller von Ionenimplantationsanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Beverly, Massachusetts. Das Patentportfolio ist fast vollständig auf Halbleiter und elektrische Bauelemente konzentriert, ergänzt um Oberflächentechnik und Mess- und Prüftechnik. Das Unternehmen meldet durchgehend seit 2000 an.

377
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
26
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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377 gesamt
Patent
15.03.2018
In Situ Ion Beam Current Monitoring And Control in Scanned Ion Implantation Systems
WO2018048889
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.12.2017
Implantation using solid aluminum iodide (ali3) for producing atomic aluminum ions and in situ cleaning of aluminum iodide and associated by-products
WO2017223130
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.12.2017
Implantation using solid aluminum iodide (ali3) for producing atomic aluminum ions and in situ cleaning of aluminum iodide and associated by-products
WO2017223132
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.12.2017
Apparatus and method for heating or cooling a wafer
WO2017210178
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.11.2017
Lanthanated tungsten ion source and beamline components
WO2017197378
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.10.2017
Improved Ion Source Repeller Shield
WO2017176675
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.07.2017
Multi-Piece Electrode Aperture
WO2017127521
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.07.2017
Improved Ion Source Cathode Shield
WO2017127525
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.05.2017
Low conductance self-shielding insulator for ion implantation systems
WO2017083516
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.05.2017
Ion source liner having a lip for ion implantion systems
WO2017079588
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.03.2017
Cam Actuated Filament Clamp
WO2017034758
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.02.2017
High throughput cooled ion implantation system and method
WO2017023583
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.10.2016
Integrated extraction electrode manipulator for ion source
WO2016160421
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.09.2016
Bipolar wafer charge monitor system and ion implantation system comprising same
WO2016138086
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.06.2016
Method of measuring vertical beam profile in an ion implantation system having a vertical beam angle device
WO2016106422
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.06.2016
Combined electrostatic lens system for ion implantation
WO2016106426
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.06.2016
Systems and methods for beam angle adjustment in ion implanters with beam deceleration
WO2016106424
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.06.2016
Wafer clamp detection based on vibration or acoustic characteristic analysis
WO2016106427
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.06.2016
Combined multipole magnet and dipole scanning magnet
WO2016106425
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.06.2016
Beam profiling speed enhancement for scanned beam implanters
WO2016106423
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.06.2016
System and method to improve productivity of hybrid scan ion beam implanters
WO2016106421
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.03.2016
System and method for electrostatic clamping of workpieces
WO2016044594
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.12.2015
High throughput heated ion implantation system and method
WO2015200005
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.12.2015
Ion implantation source with textured interior surfaces
WO2015191311
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.11.2015
Angular scanning using angular energy filter
WO2015168237
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.09.2015
Ion implantation system and method with variable energy control
WO2015130410
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.08.2015
Multi fluid cooling system for large temperaure range chuck
WO2015123105
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.08.2015
Constant Mass Flow Multi-Level Coolant Path Electrostatic Chuck
WO2015123109
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.08.2015
Variable electrode pattern for versatile electrostatic clamp operation
WO2015123108
Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.08.2015
Method for enhancing beam utilization in a scanned beam ion implanter
WO2015116784
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.06.2015
Reduced trace metals contamination ion source for an ion implantation system
WO2015095692
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.05.2015
Method for measuring transverse beam intensity distribution
WO2015077400
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
06.11.2014
Extraction Electrode Assembly Voltage Modulation in an Ion Implantation System
WO2014179687
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.10.2014
Flourine and hf resistant seals for an ion source
WO2014176516
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.07.2014
Charge integration based electrostatic clamp health monitor
WO2014105883
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.04.2014
Implant-Induced Damage Control in Ion Implantation
WO2014055182
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.02.2014
In-vacuum high speed pre-chill and post-heat stations
WO2014022844
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.12.2013
Workpiece Carrier
WO2013188519
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.12.2013
Inert atmospheric pressure pre-chill and post-heat
WO2013181093
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.07.2013
Beam Line Design To Reduce Energy Contamination
WO2013106220
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Wer vertritt Axcelis Technologies?

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
354
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22
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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12
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8
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6
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3
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2
Maschinenelemente & Fluidtechnik
2
Kunststoff- & Polymertechnik
1
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
1

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