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Gigaphoton Patente

🇯🇵 Japan

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

539
Patente
2001–2023
Anmeldejahre
17
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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539 gesamt
Patent
16.05.2024
Gas laser device, and method for manufacturing electronic device
WO2024100848
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.05.2024
Chamber for gas laser apparatus, gas laser apparatus, and method for manufacturing electronic device
WO2024100743
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.05.2024
Wavelength conversion system, solid laser system, and electronic device manufacturing method
WO2024089777
Optik & Fototechnik
21.03.2024
Laser apparatus and method for manufacturing electronic device
WO2024057673
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.03.2024
Gas laser apparatus and method for manufacturing electronic device
WO2024057536
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.03.2024
Laser device and method for manufacturing electronic device
WO2024057458
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.03.2024
Laser device and method for manufacturing electronic device
WO2024047867
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.03.2024
Narrow-band laser apparatus and method for manufacturing electronic device
WO2024047871
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.02.2024
Laser processing method, laser processing device, and production method for electronic device
WO2024034035
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
01.02.2024
Laser device, laser system, and method for manufacturing electronic device
WO2024023968
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.01.2024
Chamber for gas laser apparatus, gas laser apparatus, and method for manufacturing electronic device
WO2024009662
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.12.2023
Laser system and method for producing electronic device
WO2023248423
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.12.2023
Line narrowing module, method for manufacturing line narrowing module, and method for manufacturing electronic device
WO2023233628
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.12.2023
Method for developing photosensitive substrate, method for forming photomask, and method for producing electronic device
WO2023233627
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.11.2023
Discharge electrode, method for producing anode, and method for producing electronic device
WO2023218548
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.10.2023
Laser apparatus, method for controlling wavelength of laser apparatus, and method for manufacturing electronic device
WO2023199513
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.10.2023
Laser device and electronic device manufacturing method
WO2023199514
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.09.2023
Chamber for gas laser apparatus, gas laser apparatus, and method for manufacturing electronic device
WO2023181677
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.09.2023
Discharge electrode, production method for discharge electrode, and production method for electronic device
WO2023181416
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.09.2023
Gas laser device and electronic device manufacturing method
WO2023181207
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.09.2023
Narrow-band laser apparatus and method for manufacturing electronic device
WO2023181159
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.09.2023
Remaining pulse cost calculation method and processor
WO2023175906
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.09.2023
Gas laser apparatus chamber and electronic device production method
WO2023175729
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.09.2023
Baking method for chamber of gas laser apparatus, and method for manufacturing electronic device
WO2023170835
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.09.2023
Method for creating trained model, laser apparatus, and method for manufacturing electronic device
WO2023170908
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.09.2023
Laser device, laser processing system, and laser processing method
WO2023170892
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.09.2023
Laser device, measurement method of spectrum linewidth, and electronic device manufacturing method
WO2023166583
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.09.2023
Gas laser device and method for manufacturing electronic device
WO2023166570
Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.08.2023
Laser system and production method for electronic device
WO2023157268
Optik & Fototechnik
17.08.2023
Laser device, light path adjustment method, and method for manufacturing electronic device
WO2023152805
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.07.2023
Photomask creation method, data creation method, and electronic device manufacturing method
WO2023135773
Optik & Fototechnik
20.07.2023
Method for manufacturing electronic device, laser apparatus, and wavelength sequence calculation system
WO2023135658
Optik & Fototechnik
06.07.2023
Gas laser apparatus and method for manufacturing electronic device
WO2023127286
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.06.2023
Laser system, method for generating pulsed laser light, and method for producing electronic device
WO2023112308
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.06.2023
Optical pulse stretcher, laser apparatus, and method for manufacturing electronic device
WO2023100293
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.06.2023
Pulse expander and method for manufacturing electronic device
WO2023095219
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.05.2023
Laser apparatus and electronic device manufacturing method
WO2023089673
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.05.2023
Laser machining system, laser machining method, and method for manufacturing electronic device
WO2023084681
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
27.04.2023
Laser processing method and laser processing system
WO2023067791
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
27.04.2023
Electronic device manufacturing method and lithography control processor
WO2023067777
Optik & Fototechnik

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Technologiefelder

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2
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