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Gigaphoton Patente

🇯🇵 Japan

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

539
Patente
2001–2023
Anmeldejahre
17
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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539 gesamt
Patent
11.01.2018
Wavelength converting apparatus
WO2018008142
Optik & Fototechnik
21.12.2017
Chamber device and extreme ultraviolet light generating device
WO2017216847
Elektronik & Schaltungstechnik
07.12.2017
Extreme ultraviolet light generation device and method for controlling extreme ultraviolet light generation device
WO2017208340
Elektronik & Schaltungstechnik
23.11.2017
Wavelength detection device
WO2017199395
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.11.2017
Laser device
WO2017195244
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.11.2017
Extreme ultraviolet light sensor unit and extreme ultraviolet light generation device
WO2017187571
Elektronik & Schaltungstechnik
02.11.2017
Tank, target generation device, and extreme-uv-light generation device
WO2017187630
Elektronik & Schaltungstechnik
26.10.2017
Laser device
WO2017183210
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.10.2017
System zur Erzeugung von Extremem Uv-Licht
EP2721908
Elektronik & Schaltungstechnik
12.10.2017
Solid-state laser device, solid-state laser system, and laser device for light exposure device
WO2017175344
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.10.2017
Solid-state laser device, solid-state laser system, and laser device for light exposure device
WO2017175561
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.10.2017
Laser apparatus and system for generating extreme ultraviolet light
WO2017168584
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.09.2017
Laser doping device and semiconductor device manufacturing method
WO2017163356
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.09.2017
Droplet Timing Sensor
WO2017163315
Elektronik & Schaltungstechnik
28.09.2017
Laser annealing device
WO2017163357
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.09.2017
Extreme ultraviolet light generation apparatus, and method for controlling gravity center position of extreme ultraviolet light
WO2017163345
Elektronik & Schaltungstechnik
28.09.2017
Extreme ultraviolet light generator and method for controlling centroid of extreme ultraviolet light
WO2017164251
Elektronik & Schaltungstechnik
21.09.2017
Laser apparatus and extreme ultraviolet light generation system
WO2017158694
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.09.2017
Laser device and laser device control method
WO2017158849
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.09.2017
Extreme ultraviolet light generation device
WO2017154111
Elektronik & Schaltungstechnik
14.09.2017
Structure for connecting optical unit to optical path pipe
WO2017154179
Elektronik & Schaltungstechnik
14.09.2017
Extreme ultraviolet light generating apparatus
WO2017154528
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
08.09.2017
Laser device, and extreme ultraviolet light generation system
WO2017149712
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.08.2017
Extreme ultraviolet light generation device
WO2017145366
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
31.08.2017
Beam transmission system, exposure device, and illumination optical system for exposure device
WO2017145385
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
10.08.2017
Narrow band laser device
WO2017134745
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.08.2017
Extreme ultraviolet light generation device
WO2017130346
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.08.2017
Target supply device and extreme ultraviolet light generating device
WO2017130323
Elektronik & Schaltungstechnik
03.08.2017
Target supply device and extreme ultraviolet light generating device
WO2017130443
Elektronik & Schaltungstechnik
27.07.2017
Extreme ultraviolet light generation device
WO2017126065
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.07.2017
Extreme ultraviolet light generation device
WO2017126301
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
29.06.2017
Laser irradiation device
WO2017109928
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.06.2017
Extreme ultraviolet light generating device
WO2017103980
Optik & Fototechnik
22.06.2017
Extreme ultraviolet light generating device
WO2017103991
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.06.2017
Narrow-band laser device and spectral line width measurement device
WO2017098625
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.06.2017
Target generation device and euv light generation device
WO2017098667
Elektronik & Schaltungstechnik
08.06.2017
Excimer laser device
WO2017094099
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.06.2017
Excimer laser device
WO2017094459
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.06.2017
Extreme ultraviolet light generating device
WO2017090126
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
01.06.2017
Extreme ultraviolet light generation device
WO2017090167
Elektronik & Schaltungstechnik

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
363
Optik & Fototechnik
173
Elektronik & Schaltungstechnik
166
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
30
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
13
Elektrische Energietechnik
11
Maschinenelemente & Fluidtechnik
5
Verfahrens- & Trenntechnik
3
Anorganische Chemie & Werkstoffe
2
Software & Datenverarbeitung
2
Medizintechnik & Gesundheit
1
Metallurgie & Oberflächentechnik
1

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