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Gigaphoton Patente

🇯🇵 Japan

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

539
Patente
2001–2023
Anmeldejahre
17
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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539 gesamt
Patent
13.09.2018
Droplet discharge device and calculation method
WO2018163380
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Optik & Fototechnik
07.09.2018
Solid-state laser system and wavelength conversion system
WO2018158899
Optik & Fototechnik
30.08.2018
Laser device and euv light generation system
WO2018154771
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.08.2018
Laser device
WO2018150547
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.08.2018
Extreme ultraviolet light generating device
WO2018150530
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.08.2018
Extreme uv light generation device
WO2018138918
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
02.08.2018
Laser device and extreme ultraviolet light generation system
WO2018138886
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.08.2018
Laser system
WO2018138819
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.07.2018
Laser processing system and laser processing method
WO2018134868
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.07.2018
Laser device and extreme ultraviolet light generation system
WO2018134971
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.07.2018
Thomson scattering measurement system and euv light generation system
WO2018134861
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
25.07.2018
Spiegel und System zum Erzeugen von Extrem Uv Strahlung
EP2550665
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
19.07.2018
Extreme ultraviolet light generation system
WO2018131123
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
19.07.2018
Extreme ultraviolet light generation system
WO2018131146
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
05.07.2018
Target photographing apparatus and extreme ultraviolet light generation apparatus
WO2018123035
Optik & Fototechnik
27.06.2018
System zum Erzeugen von Extrem Uv Strahlung
EP2548080
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
14.06.2018
Laser device
WO2018105002
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.06.2018
Laser gas regeneration system and laser system
WO2018100618
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.05.2018
Carriage for replacing target generation device, target generation device replacement system, and method for replacing target generation device
WO2018092227
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
24.05.2018
Laser device and extreme ultraviolet light generation device
WO2018092281
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.05.2018
Laser device and extreme ultraviolet light generation device
WO2018087895
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.05.2018
Extreme uv light generation device
WO2018083727
Elektronik & Schaltungstechnik
19.04.2018
Target supply apparatus
WO2018069976
Elektronik & Schaltungstechnik
05.04.2018
Laser device
WO2018061098
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.04.2018
Laser device
WO2018061210
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.04.2018
Chamber device, target generation method, and extreme ultraviolet light generation device
WO2018061212
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
29.03.2018
Laser device, and extreme ultraviolet light generation system
WO2018055744
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.03.2018
Laser device and laser anneal device
WO2018047220
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.03.2018
Laser device
WO2018047280
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.03.2018
Droplet collection device
WO2018042563
Elektronik & Schaltungstechnik
08.03.2018
Droplet collection device
WO2018042565
Elektronik & Schaltungstechnik
08.03.2018
Target generating device and extreme uv light generating device
WO2018042627
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
15.02.2018
Extreme ultraviolet light generation method
WO2018029759
Elektronik & Schaltungstechnik
15.02.2018
Droplet detector and euv light generation device
WO2018029863
Elektronik & Schaltungstechnik
15.02.2018
Extreme ultraviolet light generation method
WO2018030122
Elektronik & Schaltungstechnik
08.02.2018
Gas laser device
WO2018025394
Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.02.2018
Laser system
WO2018020564
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.01.2018
Extreme uv light generation device
WO2018016034
Elektronik & Schaltungstechnik
25.01.2018
Reduced-bandwidth krf excimer laser device
WO2018016066
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.01.2018
Optical element angle adjustment device and extreme ultraviolet light generation device
WO2018011953
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Optik & Fototechnik
173
Elektronik & Schaltungstechnik
166
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
30
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
13
Elektrische Energietechnik
11
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5
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3
Anorganische Chemie & Werkstoffe
2
Software & Datenverarbeitung
2
Medizintechnik & Gesundheit
1
Metallurgie & Oberflächentechnik
1

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