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Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. Patente

🇺🇸 USA

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

690
Patente
2000–2019
Anmeldejahre
20
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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690 gesamt
Patent
15.07.2010
Condensible gas cooling system
WO2010080390
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.07.2010
Techniques for independently controlling deflection, deceleration, and focus of an ion beam
WO2010077418
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.07.2010
Method and apparatus for plasma dose measurement
WO2010075283
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.07.2010
Plasma Ion Process Uniformity Monitor
WO2010075281
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.06.2010
Method to enhance charge trapping
WO2010071834
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.06.2010
Excited gas injection for ion implant control
WO2010065718
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.05.2010
Mass analysis magnet for a ribbon beam
WO2010056823
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.05.2010
Strukturierte Anordnung zur Herstellung einer Solarzelle und Verfahren dafür
EP2186138
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.05.2010
Conductive Contamination Resistant Insulator
WO2010054193
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.05.2010
Removal of a sheet from a production apparatus
WO2010051184
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.05.2010
Method to reduce surface damage and defects
WO2010051269
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.04.2010
Techniques for atomic layer deposition
WO2010048161
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.04.2010
Reduced Implant Voltage During Ion Implantation
WO2010042494
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.04.2010
Techniques for ion implantation of molecular ions
WO2010042509
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.04.2010
Platen cooling mechanism for cryogenic ion implanting
WO2010039672
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.04.2010
Fluid delivery mechanism for vaccum wafer processing system
WO2010039689
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.04.2010
Solute stabilization of sheets formed from a melt
WO2010039810
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.04.2010
Thermal modulation of implant process
WO2010039807
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.04.2010
Platen cooling mechanism for cryogenic ion implanting
WO2010039695
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.03.2010
Implanting a solar cell substrate using a mask
WO2010030588
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.03.2010
Techniques for manufacturing solar cells
WO2010030645
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.03.2010
Technique for monitoring and controlling a plasma process with an ion mobility spectrometer
WO2010030718
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
04.03.2010
High density helicon plasma source for wide ribbon ion beam generation
WO2010025099
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
18.02.2010
Usj techniques with helium-treated substrates
WO2010019699
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.02.2010
Improved cleaving of substrates
WO2010019700
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.02.2010
An ion source and a method for in-situ cleaning thereof
WO2010017114
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.01.2010
Ion implantation with heavy halogenide compounds
WO2010011711
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.12.2009
Floating sheet measurement apparatus and method
WO2009154827
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.12.2009
Techniques for measuring ion beam emittance
WO2009155166
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.12.2009
Ion source cleaning method and apparatus
WO2009155446
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.12.2009
Material transport systems using autonomous controls
WO2009155444
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.12.2009
A platen for reducing particle contamination on a substrate and a method thereof
WO2009155508
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.12.2009
Melt purification and delivery system
WO2009155512
Metallurgie & Oberflächentechnik
23.12.2009
Method and apparatus for controlling beam current uniformity in an ion implanter
WO2009155500
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.12.2009
Melt purification and delivery system
WO2009155506
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.12.2009
Techniques for providing a multimode ion source
WO2009152127
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.12.2009
Techniques for changing temperature of a platen
WO2009148819
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.12.2009
Improved Multilayer Electrostatic Chuck Wafer Platen
WO2009149275
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.12.2009
Method and apparatus for producing a dislocation-free crystalline sheet
WO2009149325
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.11.2009
An apparatus for detecting film delamination and a method thereof
WO2009134753
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Wer vertritt Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.?

Die Kanzleien und Patentanwälte, die Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
606
Metallurgie & Oberflächentechnik
63
Elektrische Energietechnik
37
Elektronik & Schaltungstechnik
15
Optik & Fototechnik
15
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
10
Akustik, Musik & Datenspeicherung
9
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
6
Maschinenelemente & Fluidtechnik
4
Software & Datenverarbeitung
4
Verfahrens- & Trenntechnik
3
Anorganische Chemie & Werkstoffe
3

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