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Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. Patente

🇺🇸 USA

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

690
Patente
2000–2019
Anmeldejahre
20
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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690 gesamt
Patent
07.10.2009
Verfahren und Vorrichtung zur Plasmadotierung und Ionenimplantierung in einem Integrierten Behandlungssystem
EP1438734
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.10.2009
Techniques For Improved Uniformity Tuning in an Ion Implanter System
WO2009120845
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.09.2009
Floating sheet production apparatus and method
WO2009114764
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.09.2009
Cooled Cleaving Implant
WO2009114569
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.09.2009
Maskless doping technique for solar cells
WO2009111669
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.09.2009
Use of dopants with different diffusivities for solar cell manufacture
WO2009111668
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.09.2009
Establishing A High Phosphorus Concentration in Solar Cells
WO2009111667
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.09.2009
Method to improve uniformity of chemical mechanical polishing planarization
WO2009111535
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.08.2009
Apparatus for measuring beam characteristics and a method thereof
WO2009102875
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.08.2009
Closed loop control and process optimization in plasma doping processes using a time of flight ion detector
WO2009102871
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.08.2009
Techniques for cold implantation of carbon-containing species
WO2009102752
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.08.2009
Ethane implantation with a dilution gas
WO2009102754
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.08.2009
An apparatus for handling a substrate and a method thereof
WO2009099922
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.07.2009
In-Vacuum Protective Liners
WO2009091943
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.07.2009
Gas delivery system for an ion source
WO2009088770
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.07.2009
Rf electron source for ionizing gas clusters
WO2009085954
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.07.2009
Improved high tilt implant angle performance using in-axis tilt
WO2009085939
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.06.2009
Particle Trap
WO2009076155
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.06.2009
Techniques For Reducing an Electrical Stress in an Acceleration/deceleration System
WO2009076407
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.06.2009
Using ion implantation to control trench depth and alter optical properties of a substrate
WO2009070514
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.05.2009
Embossed Electrostatic Chuck
WO2009064974
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.05.2009
Particle beam assisted modification of thin film materials
WO2009064867
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.05.2009
Techniques for measuring and controlling ion beam angle and density uniformity
WO2009064871
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.05.2009
Particle beam assisted modifcation of thin film materials
WO2009064872
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.05.2009
Particle beam assisted modification of thin film materials
WO2009064875
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.05.2009
Metal Work Function Adjustment By Ion Implantation
WO2009061290
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.05.2009
Implantation of multiple species to address copper reliability
WO2009061714
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.04.2009
Plasma doping system with in-situ chamber condition monitoring
WO2009055431
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.04.2009
Plasma doping system with charge control
WO2009052453
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.04.2009
Techniques for commensurate cusp-field for effective ion beam neutralization
WO2009052019
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.04.2009
Two-diemensional uniformity correction for ion beam assisted etching
WO2009045722
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.04.2009
Charge Neutralization in A Plasma Processing Apparatus
WO2009045736
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.04.2009
Techniques for optical ion beam metrology
WO2009042462
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.04.2009
Techniques for optical ion beam metrology
WO2009042461
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.04.2009
Single wafer implanter for silicon-on-insulator wafer fabrication
WO2009042459
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.03.2009
Wafer Bonding Activated By Ion Implantation
WO2009039264
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.03.2009
Techniques for controlling a charged particle beam
WO2009036267
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.03.2009
Techniques For Terminal Insulation in an Ion Implanter
WO2009032565
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.03.2009
Techniques For Terminal Insulation in an Ion Implanter
WO2009032566
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.03.2009
Terminal structures of an ion implanter having insulated conductors with dielectric fins
WO2009029560
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Wer vertritt Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.?

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
606
Metallurgie & Oberflächentechnik
63
Elektrische Energietechnik
37
Elektronik & Schaltungstechnik
15
Optik & Fototechnik
15
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
10
Akustik, Musik & Datenspeicherung
9
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
6
Maschinenelemente & Fluidtechnik
4
Software & Datenverarbeitung
4
Verfahrens- & Trenntechnik
3
Anorganische Chemie & Werkstoffe
3

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