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Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. Patente

🇺🇸 USA

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

690
Patente
2000–2019
Anmeldejahre
20
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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690 gesamt
Patent
26.02.2009
Insulated conducting device with multiple insulation segments
WO2009026340
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.02.2009
Sealing Between Vacuum Chambers
WO2009026521
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.01.2009
Conformal doping using high neutral plasma implant
WO2009009272
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.01.2009
A processing system platen having a variable thermal conductivity profile
WO2009009526
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.01.2009
Techniques for handling substrates
WO2009005959
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.01.2009
Plasma processing with enhanced charge neutralization and process control
WO2009005991
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.12.2008
Cathode having electron production and focusing grooves, ion source and related method
WO2009002692
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.12.2008
High Voltage Insulator For Preventing Instability in an Ion Implanter Due To Triple-Junction Breakdown
WO2009002736
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.12.2008
Techniques for detecting wafer charging in a plasma processing system
WO2009002737
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.12.2008
Plasma ion implantation process control using reflectometry
WO2009002762
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.11.2008
Techniques For Removing Molecular Fragments From an Ion Implanter
WO2008136858
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.10.2008
Verfahren zur Kalibrierung eines Ionen-Implantationgerätes über die magnetische Steifigkeit des Ionenstrahles und dessen magnetischen Ablenkfeldes.
EP1936655
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.10.2008
Tuning an Ion Implanter For Optimal Performance
WO2008124418
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.10.2008
Techniques for forming shallow junctions
WO2008124554
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.10.2008
Techniques for low-temperature ion implantation
WO2008124555
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.10.2008
Ion acceleration column connection mechanism with integrated shielding electrode and related methods
WO2008121547
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
09.10.2008
Techniques for improving the performance and extending the lifetime of an ion source with gas mixing
WO2008121549
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.10.2008
Electrostatic chuck with separated electrodes
WO2008118683
Metallurgie & Oberflächentechnik Elektrische Energietechnik
12.09.2008
Technique for atomic layer deposition
WO2008108754
Metallurgie & Oberflächentechnik
12.09.2008
Wafer Holding Robot End Effecter Vertical Position Determination in Ion Implanter System
WO2008109426
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.08.2008
Multi-step plasma doping with improved dose control
WO2008100824
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.07.2008
Technique for improving the performance and extending the lifetime of an ion source with gas dilution
WO2008091729
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.07.2008
Techniques for providing ion source feed materials
WO2008088971
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.07.2008
Technique For Reducing Magnetic Fields At an Implant Location
WO2008088970
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.07.2008
Power supply for an ion implantation system
WO2008086066
Elektrische Energietechnik
10.07.2008
Method and apparatuses for providing electrical contact for plasma processing applications
WO2008083023
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.07.2008
Technique For Using an Improved Shield Ring in Plasma-Based Ion Implantation
WO2008083020
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.07.2008
Active particle trapping for process control
WO2008083026
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.07.2008
Ion implantation with a collimator magnet and a neutral filter magnet
WO2008079921
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.06.2008
Techniques For Confining Electrons in an Ion Implanter
WO2008073747
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.06.2008
Technique for atomic layer deposition
WO2008073750
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.06.2008
Magnetic monitoring of a faraday cup for an ion implanter
WO2008073734
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.06.2008
Techniques for low temperature ion implantation
WO2008067213
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.05.2008
Ion implantation device with a dual pumping mode and method thereof
WO2008058246
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.04.2008
Technique for matching performance of ion implantation devices using an in-situ mask
WO2008048598
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.04.2008
Technique For Improved Ion Beam Transport in an Ion Implantation System
WO2008042664
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.04.2008
Multi-purpose electrostatic lens for an ion implanter system
WO2008042585
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.04.2008
Technique For Improved Damage Control in A Plasma Doping (plad) Ion Implantation
WO2008042647
10.04.2008
Technique for improving ion implantation throughput and dose uniformity
WO2008042668
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.04.2008
Non-doping implantation process utlizing a plasma ion implantation system
WO2008039652
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Wer vertritt Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.?

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
606
Metallurgie & Oberflächentechnik
63
Elektrische Energietechnik
37
Elektronik & Schaltungstechnik
15
Optik & Fototechnik
15
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
10
Akustik, Musik & Datenspeicherung
9
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
6
Maschinenelemente & Fluidtechnik
4
Software & Datenverarbeitung
4
Verfahrens- & Trenntechnik
3
Anorganische Chemie & Werkstoffe
3

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