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Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. Patente

🇺🇸 USA

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

690
Patente
2000–2019
Anmeldejahre
20
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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690 gesamt
Patent
03.04.2008
Substrate handling system and method
WO2008039702
03.04.2008
Terminal Structure Of an Ion Implanter
WO2008039745
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.03.2008
Techniques for temperature-controlled ion implantation
WO2008036529
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.03.2008
Mask Position Detection
WO2008036915
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.03.2008
Technique For Implementing A Variable Aperture Lens in an Ion Implanter
WO2008027059
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.02.2008
Technique for improving performance and extending lifetime of inductively heated cathode ion sources
WO2008020855
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.02.2008
Techniques for temperature-controlled ion implantation
WO2008020955
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.02.2008
Technique for low-temperature ion implantation
WO2008020972
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.01.2008
Automated faraday sensor test system
WO2008005227
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.01.2008
Methods and apparatus for beam density measurement in two dimensions
WO2008005137
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.01.2008
Scan Pattern For an Ion Implanter
WO2008002403
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.12.2007
Ion beam current uniformity monitor, ion iplanter and related method
WO2007145953
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.12.2007
Non-Uniform Ion Implantation
WO2007142912
29.11.2007
Electrostatic Chuck To Limit Particle Deposits Thereon
WO2007136809
08.11.2007
Insulator system for a terminal structure of an ion implantation system
WO2007126966
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.10.2007
Determining ion beam parallelism using refraction method
WO2007111876
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.10.2007
Ion implanter with variable scan frequency
WO2007111991
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.09.2007
Method of plasma processing with in-situ monitoring and process parameter tuning
WO2007109252
20.09.2007
Technique for monitoring and controlling a plasma process
WO2007106449
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.09.2007
Johnsen-rahbek electrostatic chuck driven with ac voltage
WO2007100571
Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.08.2007
Electromagnet with active field containment
WO2007095189
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
16.08.2007
Techniques for depositing metallic films using ion implantation surface modification for catalysis of electroless deposition
WO2007092529
Verfahrens- & Trenntechnik
09.08.2007
Architecture for ribbon ion beam ion implanter system
WO2007089468
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.08.2007
Methods and apparatus for ion beam angle measurement in two dimensions
WO2007087209
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.08.2007
Plasma immersion ion source with low effective antenna voltage
WO2007087210
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.08.2007
Methods of implanting ions and ion sources used for same
WO2007087213
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.08.2007
Methods of implanting ions and ion sources used for same
WO2007087212
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.07.2007
Technique for improving uniformity of a ribbon beam
WO2007084628
05.07.2007
Technique For Providing an Inductively Coupled Radio Frequency Plasma Flood Gun
WO2007075344
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.06.2007
Techniques for preventing parasitic beamlets from affecting ion implantation
WO2007067552
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.06.2007
Techniques for reducing effects of photoresist outgassing
WO2007067551
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
24.05.2007
Technique for shaping a ribbon-shaped ion beam
WO2007059197
24.05.2007
Technique For Providing A Segmented Electrostatic Lens in an Ion Implanter
WO2007059227
11.01.2007
Clamp for use in processing semiconductor workpieces
WO2007005925
Elektrische Energietechnik
14.12.2006
Technique for ion beam angle process control
WO2006133310
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
14.12.2006
Technique for ion beam angle spread control
WO2006133309
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.11.2006
Verfahren und Vorrichtung zum Niedrigspannung-Plasmadotierung mittels Doppelpulse
EP1224683
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.11.2006
Verfahren und Vorrichtung zur Entfernung des Verschiebestroms aus Strommessungen in einem Plasmabehandlungssystem
EP1224684
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.11.2006
Tilted Plasma Doping
WO2006116459
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.11.2006
Methods and apparatus for adjusting ion implant parameters for improved process control
WO2006116506
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Wer vertritt Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.?

Die Kanzleien und Patentanwälte, die Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
606
Metallurgie & Oberflächentechnik
63
Elektrische Energietechnik
37
Elektronik & Schaltungstechnik
15
Optik & Fototechnik
15
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
10
Akustik, Musik & Datenspeicherung
9
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
6
Maschinenelemente & Fluidtechnik
4
Software & Datenverarbeitung
4
Verfahrens- & Trenntechnik
3
Anorganische Chemie & Werkstoffe
3

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