Carl Zeiss SMT

🇩🇪 Deutschland aktiv

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Kanzleien und Patentanwälte, die Carl Zeiss SMT in unserer Datenbank vertreten.

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Carl Zeiss SMT GmbH

Oberkochen · 264 gemeinsame Patente

Carl Zeiss AG - Patentabteilung

Oberkochen · 183 gemeinsame Patente

Rau, Schneck & Hübner Patentanwälte Rechtsanwälte PartGmbB

Nürnberg · 113 gemeinsame Patente

Patentanwälte Ruff, Wilhelm, Beier, Dauster & Partner mbB

Stuttgart · 98 gemeinsame Patente

Kohler Schmid Möbus Patentanwälte

Reutlingen · 68 gemeinsame Patente

Patentanwälte Ruff, Wilhelm, Beier, Dauster & Partner

Stuttgart · 68 gemeinsame Patente

Patentanwälte

Frank, Hartmut

Mülheim a. d. Ruhr · 85 gemeinsame Patente

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Sawodny, Michael-Wolfgang

Sawodny Patentanwalt

Ulm · 61 gemeinsame Patente

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Schwanhäusser, Gernot

Stuttgart · 54 gemeinsame Patente

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Lorenz, Werner

Heidenheim · 46 gemeinsame Patente

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Raunecker, Klaus Peter

Raunecker Patent

Ulm · 23 gemeinsame Patente

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Müller-Rissmann, Werner Albrecht, Dr

Oberkochen · 21 gemeinsame Patente

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Patente

2.391 gesamt

Datum	Patent	Land
19.08.2026	19.08.2026 Wartung von Mehrschichtigen Optischen Komponenten EP4793676	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 17.02.2025 Anhängig Vertretung ASML Netherlands B.V · Veldhoven Zusammenfassung A method of maintenance for a multilayer optical component. The multilayer optical component is configured for use with a lithographic process and comprises at least a first layer and a second layer adjacent to the first layer. The method comprises irradiating, with first ions, a region of the first layer such that particles are ejected from the first layer. The first ions have an energy at or above a sputter threshold of the first layer and the energy is below a sputter threshold of the second layer. Alle Patent-Informationen
17.06.2026	17.06.2026 Verfahren und Vorrichtung zum Spülen einer Abtragsfront EP4759474 Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 19.08.2025 Anhängig Vertretung Kohler Schmid Möbus Patentanwälte · Reutlingen Zusammenfassung Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Spülen einer Abtragsfront (4) an einer durch materialabtragende Bearbeitung gebildeten Hohlstruktur (2) in einem Werkstück, bevorzugt in einem Substrat für einen EUV-Spiegel, umfassend: Zuführen eines Fluids (6) zu der Abtragsfront (4) mittels einer bevorzugt flexiblen Fluidzuführung (7). Bei dem Verfahren weist die Fluidzuführung (7) zum Zuführen des Fluids (6) zu der Abtragsfront (4) und/oder zum Abführen des Fluids (6) von der Abtragsfront (4) mindestens eine in mindestens einer Raumrichtung periodische Außenstruktur, bevorzugt eine helixförmige Außenstruktur (9a,b) auf. Die Erfindung betrifft auch eine zugehörige Vorrichtung zum Spülen einer Abtragsfront (4). Alle Patent-Informationen
10.06.2026	10.06.2026 Spiegel für eine Beleuchtungsoptik einer Projektionsbelichtungsanlage mit einem Gitterstruktur und Verfahren zur Herstellung eines Spektralfilters EP4756534 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 25.11.2019 Anhängig Vertretung Rau, Schneck & Hübner Patentanwälte Rechtsanwälte PartGmbB · Nürnberg Zusammenfassung A mirror for an illumination optical unit (4) of a projection exposure apparatus (1) comprises a spectral filter in the form of a grating structure (30), wherein the grating structure (30) has a maximum edge steepness (b) in the range of 15° to 60°. Alle Patent-Informationen
11.03.2026	11.03.2026 Pupillenfacettenspiegel, Beleuchtungsoptik und Optisches System für eine Projektionsbelichtungsanlage EP3737999 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.11.2018 Erteilt am 11.03.2026 Vertretung Rau, Schneck & Hübner Patentanwälte Rechtsanwälte PartGmbB · Nürnberg Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.03.2026	11.03.2026 Vorrichtung und Verfahren für ein Rastersondenmikroskop EP4671773 Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 05.03.2018 Anhängig Vertretung Bardehle Pagenberg Partnerschaft mbB Patentanwälte Rechtsanwälte · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.03.2026	11.03.2026 Verfahren zum Auswerten von Messwerten einer Aberration eines Projektionsobjektivs EP4705834 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 26.04.2024 Anhängig Vertretung Zeuner Summerer Stütz · München Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.03.2026	04.03.2026 Verfahren zur Nachbearbeitung und zur Handhabung von Mems-Chips EP4701982	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 21.02.2024 Anhängig Vertretung Glawe Delfs Moll · Hamburg Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.03.2026	04.03.2026 Einzelspiegel für einen Facettenspiegel einer Beleuchtungsoptik einer Projektionsbelichtungsanlage EP4702393 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 23.04.2024 Anhängig Vertretung Rau, Schneck & Hübner Patentanwälte Rechtsanwälte PartGmbB · Nürnberg Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
04.03.2026	04.03.2026 Vorrichtung und Verfahren zur Überprüfung eines Bauteils und Lithographieanlage EP4702402 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 08.04.2024 Anhängig Vertretung Lorenz & Kollegen · Heidenheim Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen
11.02.2026	11.02.2026 Verfahren zur Herstellung einer Mems-Spiegelanordnung und Mems-Spiegelanordnung EP4689767 Optik & Fototechnik	🇪🇺 Europa
Status Angemeldet am 04.04.2024 Anhängig Vertretung Glawe Delfs Moll · Hamburg Zusammenfassung Zusammenfassung wird geladen … Alle Patent-Informationen