Applied Materials Patente
🇺🇸 USA
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
Patente nach Anmeldejahr
Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.
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10.794 gesamt| Patent | |||
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28.03.2019
Substrate support with cooled and conducting pins
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.07.2018
Anhängig
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28.03.2019
System for coupling a voltage to portions of a substrate
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.08.2018
Anhängig
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28.03.2019
Substrate support with electrically floating power supply
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Elektrische Energietechnik
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Status
Angemeldet am 20.07.2018
Anhängig
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28.03.2019
High Aspect Ratio Deposition
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 20.08.2018
Anhängig
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28.03.2019
Method and processing system for controlling a thickness of a ceramic layer on a substrate
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.09.2017
Anhängig
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28.03.2019
Method of forming alumina for a electrochemical cell using a plasma ionising process
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.09.2017
Anhängig
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28.03.2019
Method of forming a component of an electrochemical cell by evaporation
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.09.2017
Anhängig
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28.03.2019
Method and processing system for forming a component of an electrochemical energy storage device and oxidation chamber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 20.09.2017
Anhängig
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28.03.2019
System for cleaning a vacuum chamber, method for cleaning a vacuum chamber and use of a compressor for cleaning a vacuum chamber
Verfahrens- & Trenntechnik
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 25.09.2017
Anhängig
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28.03.2019
Apparatus for imaging in a vacuum chamber, system for vacuum processing of a substrate, and method for imaging at least one object in a vacuum chamber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.09.2017
Anhängig
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28.03.2019
System for coupling a voltage to spatially segmented portions of the wafer with variable voltage
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Elektrische Energietechnik
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Status
Angemeldet am 10.08.2018
Anhängig
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21.03.2019
Substrate routing and throughput modeling
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.09.2018
Anhängig
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21.03.2019
Method for determining alignment of a carrier levitation system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 15.09.2017
Anhängig
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21.03.2019
Substrate Processing Chamber Having Heated Showerhead Assembly
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.08.2018
Anhängig
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21.03.2019
Volumetric expansion of metal-containing films by silicidation
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.09.2018
Anhängig
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21.03.2019
Selective Deposition Defects Removal By Chemical Etch
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.09.2018
Anhängig
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21.03.2019
Low temperature deposition of iridium containing films
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 12.09.2018
Anhängig
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21.03.2019
Tubular electrostatic device
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Elektrische Energietechnik
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Status
Angemeldet am 19.07.2018
Anhängig
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21.03.2019
Selectively Etched Self-Aligned Via Processes
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 18.09.2018
Anhängig
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21.03.2019
A vacuum processing system and method
Metallurgie & Oberflächentechnik
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Status
Angemeldet am 18.09.2017
Anhängig
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21.03.2019
Substrate support for reduced damage substrate backside
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.09.2018
Anhängig
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21.03.2019
Gimbal assembly for a heater pedestal
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 30.08.2018
Anhängig
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21.03.2019
Apparatus and methods for manufacturing semiconductor structures using protective barrier layer
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.09.2018
Anhängig
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21.03.2019
Chattering correction for accurate sensor position determination on wafer
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 06.09.2018
Anhängig
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20.03.2019
Hocheffiziente elektrostatische Haltevorrichtung zur Verarbeitung von Halbleiterwafern
Metallurgie & Oberflächentechnik
Elektrische Energietechnik
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Zusammenfassung
The present invention generally provides a high efficiency electrostatic chuck including a flex stack having an electrode disposed between two layers of dielectric material. At least one of the layers is a standard or high purity thermoplastic film. The flex stack may have a matte finish on the substrate supporting surface to provide benefits such as improved temperature distribution across the surface of the chuck. The non-substrate supporting or pedestal receiving side of the flex stack may be plasma treated to provide a desired surface finish, which is then bonded to a pedestal using an acrylic or epoxy adhesive resulting in superior bonding strength compared to traditional polymer electrostatic chucks. The electrode may be a sheet electrode on a release liner, which enables ease of manufacturing. |
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20.03.2019
Sync-Steuergerät und Sync-Verfahren für Hochleistungsmagnetron-Sputtering und Substrat-Bearbeitungssystem
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.09.2018
Anhängig
Vertretung
Zimmermann & Partner Patentanwälte mbB · München
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20.03.2019
Verfahren zum Unterteilen und Inkohärenten Summieren eines Kohärenten Strahls
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 19.06.2008
Erteilt am 20.03.2019
Vertretung
Zimmermann & Partner Patentanwälte mbB · München
Zimmermann & Partner · München
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14.03.2019
Selective in-situ cleaning of high-k films from processing chamber using reactive gas precursor
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.09.2018
Anhängig
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14.03.2019
Methods of handling a mask device, apparatus for exchanging a mask device, mask exchange chamber, and vacuum system
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 05.09.2017
Anhängig
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14.03.2019
Soft chucking and dechucking for electrostatic chucking substrate supports
Elektrische Energietechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 23.08.2018
Anhängig
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14.03.2019
Self-Aligned Structures From Sub-Oxides
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.08.2018
Anhängig
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14.03.2019
Automatic cleaning machine for cleaning process kits
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 11.07.2018
Anhängig
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14.03.2019
Bottom-Up Approach To High Aspect Ratio Hole Formation in 3D Memory Structures
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 28.08.2018
Anhängig
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14.03.2019
Photomask Cleaning Processes
Optik & Fototechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 10.09.2018
Anhängig
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14.03.2019
Rare-earth-based oxyfluoride ald coating for chamber productivity enhancement
Metallurgie & Oberflächentechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 07.09.2018
Anhängig
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13.03.2019
Kammer für Schnelles Thermisches Verfahren mit Duschkopf
Metallurgie & Oberflächentechnik
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik
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Status
Angemeldet am 09.07.2009
Erteilt am 13.03.2019
Vertretung
Zimmermann & Partner Patentanwälte mbB · München
Zimmermann & Partner · München
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07.03.2019
Fmm process for high res fmm
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 09.08.2018
Anhängig
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07.03.2019
Determining Susceptor Service Life in A Plasma Processing Chamber
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.08.2018
Anhängig
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07.03.2019
Epitaxy system integrated with high selectivity oxide removal and high temperature contaminant removal
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Elektronik & Schaltungstechnik
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Status
Angemeldet am 13.08.2018
Anhängig
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07.03.2019
Esc substrate support with chucking force control
Elektrische Energietechnik
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 22.08.2018
Anhängig
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Wer vertritt Applied Materials?
Die Kanzleien und Patentanwälte, die Applied Materials vertreten, sowie alle Technologiefelder im vollständigen Anmelder-Profil.
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