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ASML Netherlands Patente

🇳🇱 Niederlande

ASML Netherlands B.V. ist die niederländische Kernsparte des weltweit führenden Herstellers von Lithografiesystemen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Veldhoven. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Optik und Fototechnik, ergänzt um Elektronik, elektrische Energietechnik und Halbleiterbauelemente. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2020.

390
Patente
2000–2020
Anmeldejahre
16
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

Patente durchsuchen

390 gesamt
Patent
08.12.2011
Measurement of a structure on a substrate
Optik & Fototechnik
07.12.2011
Strahlungsquelle und Verfahren zur Strahlungserzeugung
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
24.11.2011
Lithographic apparatus and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
16.11.2011
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
27.10.2011
Method and apparatus for loading a substrate
Optik & Fototechnik
20.10.2011
Method for providing an ordered layer of self-assemblable polymer for use in lithography
Optik & Fototechnik
20.10.2011
Substrate handling apparatus and lithographic apparatus
Verpackungs- & Fördertechnik Optik & Fototechnik
12.10.2011
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
22.09.2011
Inspection for lithography
Optik & Fototechnik
15.09.2011
System for removing contaminant particles, lithographic apparatus, method for removing contaminant particles and method for manufacturing a device
Optik & Fototechnik
09.09.2011
Imprint Lithography
Optik & Fototechnik
01.09.2011
Method and apparatus for treatment of self-assemblable polymer layers for use in lithography
Optik & Fototechnik
01.09.2011
Lithographic apparatus and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
01.09.2011
Lithographic apparatus and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
01.09.2011
Lithographic apparatus and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
01.09.2011
Lithographic apparatus and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
31.08.2011
Lithographischer Apparat und Belichtungsparameter-Korrekturverfahren
Optik & Fototechnik
25.08.2011
Lithographic apparatus and method of producing a reference substrate
Optik & Fototechnik
25.08.2011
Lithographic apparatus, device manufacturing method and associated data processing apparatus and computer program product
Optik & Fototechnik
25.08.2011
Estimating substrate model parameters for lithographic apparatus control
Optik & Fototechnik
17.08.2011
Lithographievorrichtung und Reinigungsverfahren dafür
Optik & Fototechnik
17.08.2011
Aktorsystem, Lithographische Vorrichtung, Verfahren zum Steuern der Position einer Komponente und Bauelementeherstellungsverfahren
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Optik & Fototechnik
10.08.2011
Strahlungssystem, lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
04.08.2011
Arrangement for use in a projection exposure tool for microlithography having a reflective optical element
Optik & Fototechnik
03.08.2011
Leitungssystem für lithografische Vorrichtung, lithografische Vorrichtung, Pumpe und Verfahren zur Reduzierung von Vibrationen in einem Leitungssystem
Optik & Fototechnik
27.07.2011
Strahlungsquelle
Elektronik & Schaltungstechnik
14.07.2011
Euv radiation source and lithographic apparatus
Elektronik & Schaltungstechnik
14.07.2011
Euv radiation source comprising a droplet accelerator and lithographic apparatus
Elektronik & Schaltungstechnik
07.07.2011
Illumination system, lithographic apparatus and illumination method
Optik & Fototechnik
23.06.2011
Imprint Lithography
Optik & Fototechnik
23.06.2011
Lithographic apparatus and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
08.06.2011
Filter für die Gewährleistung der Spektralen Reinheit, Lithografische Vorrichtung, und Verfahren zur Herstellung Dieses Filters
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
03.06.2011
Alignment and imprint lithography
Optik & Fototechnik
03.06.2011
Imprint lithography apparatus and method
Optik & Fototechnik
26.05.2011
Lithographic apparatus and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
26.05.2011
Multilayer Mirror
Optik & Fototechnik
25.05.2011
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
11.05.2011
Vorrichtung für Immersionslithographie mit Schadenkontrollsystem
Optik & Fototechnik
11.05.2011
Trägersystem und lithographische Vorrichtung mit einem solchen Trägersystem
Optik & Fototechnik
05.05.2011
Method of pattern selection for source and mask optimization
Optik & Fototechnik

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