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ASML Netherlands Patente

🇳🇱 Niederlande

ASML Netherlands B.V. ist die niederländische Kernsparte des weltweit führenden Herstellers von Lithografiesystemen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Veldhoven. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Optik und Fototechnik, ergänzt um Elektronik, elektrische Energietechnik und Halbleiterbauelemente. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2020.

390
Patente
2000–2020
Anmeldejahre
16
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

Patente durchsuchen

390 gesamt
Patent
25.07.2012
Spektralreinigungsfilter, Lithografiegerät, Verfahren zur Herstellung eines Spektralreinigungsfilters und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung mit dem Lithografiegerät
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
25.07.2012
Lithographischer Apparat
Optik & Fototechnik
04.07.2012
Messverfahren und Messgerät, Lithografisches Gerät, Lithografische Verarbeitungszelle und Substrat mit Messzielen
Optik & Fototechnik
28.06.2012
Method and system for monitoring the integrity of an article, and euv optical apparatus incorporating the same
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.06.2012
Methods for providing patterned orientation templates for self-assemblable polymers for use in device lithography
Optik & Fototechnik
28.06.2012
Method of controlling a patterning device in a lithographic apparatus, device manufacturing method and lithographic apparatus
Optik & Fototechnik
20.06.2012
Euv-Strahlungssystem und Lithografische Vorrichtung
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
14.06.2012
Methods and apparatus for inspection of articles, euv lithography reticles, lithography apparatus and method of manufacturing devices
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
14.06.2012
Lithographic apparatus and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
18.05.2012
Metrology method and apparatus, and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
18.05.2012
Metrology method and apparatus, lithographic system and device manufacturing method
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
09.05.2012
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung eines Artikels
Optik & Fototechnik
09.05.2012
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
09.05.2012
Spektraler Reinigungsfilter, Lithografische Vorrichtung, und Verfahren zur Herstellung eines Spektralen Reinigungsfilters
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
09.05.2012
Anbringungen für Rotation eines Arrays von Reflektierenden Elementen und Lithografische Vorrichtung damit
Optik & Fototechnik
19.04.2012
Lithographic apparatus
Optik & Fototechnik
11.04.2012
Lithographisches Gerät, Methoden zur Herstellung von Bauelementen, Methode zur Herstellung eines Reflektors sowie eine Phasenschiebermaske
Optik & Fototechnik
11.04.2012
Lithografische Vorrichtung und Verfahren zur Messung von Mustereigenschaften
Optik & Fototechnik
04.04.2012
Methode und Apparat zur Detektion und Analyse von Vibrationen und damit ausgestatteter lithographischer Apparat
Optik & Fototechnik
15.03.2012
Lithographic apparatus, euv radiation generation apparatus and device manufacturing method
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.03.2012
Lithography using self-assembled polymers
14.03.2012
Lithographischer Apparat
Optik & Fototechnik
14.03.2012
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
07.03.2012
Lithografische Immersionsvorrichtung, Trocknungsvorrichtung, Immersionsmetrologievorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
01.03.2012
Imprint lithography method and imprintable medium
Optik & Fototechnik
23.02.2012
Inspection method for imprint lithography and apparatus therefor
Optik & Fototechnik
23.02.2012
Substrate for use in metrology, metrology method and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
23.02.2012
Gas-liquid phase transition method and apparatus for cleaning of surfaces in semiconductor manufacturing
Verfahrens- & Trenntechnik
16.02.2012
Lithography method and apparatus
Optik & Fototechnik
09.02.2012
Imprint Lithography
Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik
08.02.2012
Lithographischer Apparat
Optik & Fototechnik
02.02.2012
Euv exposure apparatus
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
02.02.2012
Euv exposure apparatus
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
02.02.2012
Euv exposure apparatus
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
26.01.2012
Method and apparatus for determining an overlay error
Optik & Fototechnik
25.01.2012
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
12.01.2012
Components for euv lithographic apparatus, euv lithographic apparatus including such components and method for manufacturing such components
Elektrische Energietechnik
28.12.2011
Positionsmesseinrichtung und Lithographischer Apparat
Optik & Fototechnik
21.12.2011
Mehrschichtiger Spiegel und Lithographievorrichtung
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
08.12.2011
Self-assemblable polymer and method for use in lithography
Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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