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ASML Netherlands Patente

🇳🇱 Niederlande

ASML Netherlands B.V. ist die niederländische Kernsparte des weltweit führenden Herstellers von Lithografiesystemen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Veldhoven. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Optik und Fototechnik, ergänzt um Elektronik, elektrische Energietechnik und Halbleiterbauelemente. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2020.

390
Patente
2000–2020
Anmeldejahre
16
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

Patente durchsuchen

390 gesamt
Patent
28.04.2011
Methods and apparatus for calculating electromagnetic scattering properties of a structure using a normal-vector field and for reconstruction of approximate structures
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
21.04.2011
Inspection method and apparatus
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
21.04.2011
Method, inspection apparatus and substrate for determining an approximate structure of an object on the substrate
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
20.04.2011
Imprint-Lithografie
Optik & Fototechnik
16.03.2011
Lithografischer Apparat mit Sensorhalterung
Optik & Fototechnik
03.03.2011
Illumination system, lithographic apparatus and method of adjusting an illumination mode
Optik & Fototechnik
03.03.2011
Optical apparatus, and method of orienting a reflective element
Optik & Fototechnik
03.03.2011
Spectral purity filter, lithographic apparatus, and method for manufacturing a spectral purity filter
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
24.02.2011
Spectral purity filter, lithographic apparatus, and method for manufacturing a spectral purity filter
Optik & Fototechnik
23.02.2011
Lithographische Vorrichtung und Verfahren
Optik & Fototechnik
23.02.2011
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
09.02.2011
Lithographischer Apparat
Optik & Fototechnik
03.02.2011
Inspection method for lithography
Optik & Fototechnik
03.02.2011
Metrology method and apparatus, lithographic system, and lithographic processing cell
Optik & Fototechnik
13.01.2011
Lithographic apparatus and device manufacturing method
Optik & Fototechnik
13.01.2011
Inspection method and apparatus, lithographic apparatus and lithographic processing cell
Optik & Fototechnik
05.01.2011
Lithographischer Apparat
Optik & Fototechnik
29.12.2010
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
29.12.2010
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
29.12.2010
Object inspection systems and methods
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
29.12.2010
Lithographic apparatus and device manufacturing method
Verfahrens- & Trenntechnik Optik & Fototechnik
23.12.2010
Method of overlay measurement, lithographic apparatus, inspection apparatus, processing apparatus and lithographic processing cell
Optik & Fototechnik
22.12.2010
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
16.12.2010
Lithographic apparatus and method for reducing stray radiation
Optik & Fototechnik
16.12.2010
Inspection method and apparatus, lithographic appratrus and lithographic cell
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
15.12.2010
Verfahren und Vorrichtung zum Drucken Grosser Datenströme
Optik & Fototechnik
15.12.2010
Lithographische Vorrichtung und Methode zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
01.12.2010
Lithografischer Apparat mit zwei Trägerplatten und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
18.11.2010
Method of determining overlay error
Optik & Fototechnik
18.11.2010
Inspection method for lithography
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
04.11.2010
Metrology apparatus, lithography apparatus and method of measuring a property of a substrate
Optik & Fototechnik
04.11.2010
Lithographic apparatus and detector apparatus
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
04.11.2010
Lithographic apparatus and method
Optik & Fototechnik
28.10.2010
Lithographic projection apparatus and device manufacturing method
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.10.2010
Detector module with a cooling arrangement, and lithographic apparatus comprising said detector module
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
14.10.2010
Method and apparatus for inspection in lithography
Optik & Fototechnik
29.09.2010
Euv-Lichtquellenkomponenten und Verfahren zu Ihrer Herstellung, Verwendung und Überholung
Metallurgie & Oberflächentechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
22.09.2010
Vorrichtung zur Erzeugung von Strahlung, Lithographiegerät, Verfahren zur Herstellung eines Bauteils und dieses
Elektronik & Schaltungstechnik
21.07.2010
Mehrschichtiger spektraler Reinigungsfilter, lithografische Vorrichtung mit einem derartigen spektralen Reinigungsfilter, Herstellungsverfahren für die Vorrichtung und Vorrichtungsherstellung damit
Optik & Fototechnik
21.07.2010
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik

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