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ASML Netherlands Patente

🇳🇱 Niederlande

ASML Netherlands B.V. ist die niederländische Kernsparte des weltweit führenden Herstellers von Lithografiesystemen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Veldhoven. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Optik und Fototechnik, ergänzt um Elektronik, elektrische Energietechnik und Halbleiterbauelemente. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2020.

390
Patente
2000–2020
Anmeldejahre
16
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

Patente durchsuchen

390 gesamt
Patent
31.10.2007
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.10.2007
Lenkung eines Strahls mit Bezug auf diffraktive Optik zur Reduktion von Interferenzmustern
Optik & Fototechnik
10.10.2007
Vorrichtung zur Lokalen Behandlung, Lithografische Vorrichtung und Bauelemente-Herstellungsverfahren
Optik & Fototechnik
19.09.2007
Lithografisches Gerät und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
12.09.2007
Lithografische Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
25.07.2007
Ausrichtung für Imprint-Lithographie
Optik & Fototechnik
27.06.2007
Lithographischer Apparat und Herstellungsverfahren für Bauelemente unter Verwendung mehrerer Belichtungsarten
Optik & Fototechnik
06.06.2007
Substratpositionierung in der Immersionslithographie
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
06.06.2007
Mehrschichtiger spektraler Reinigungsfilter, lithografischer Apparat mit einem derartigen spektralen Reinigungsfilter, Herstellungsverfahren für eine Vorrichtung und auf diese Weise hergestellte Vorrichtung
Optik & Fototechnik
30.05.2007
Lithographiegerät und Verfahren zur Herstellung eines Bauteils
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
30.05.2007
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung eines Bauelements
Optik & Fototechnik
11.04.2007
Verfahren zur Strukturierung einer positiv arbeitenden Resistschicht auf einem lithographischen Substrat, und Computerprogramm
Optik & Fototechnik
14.03.2007
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
14.02.2007
Lithographisches Gerät, Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung und Projektionselement zur Benutzung in dem lithographischen Gerät
Optik & Fototechnik
17.01.2007
Träger, lithographisches Verfahren mit Mehrfachbelichtung, Speichermedium mit Computerprogramm
Optik & Fototechnik
10.01.2007
Verfahren zur Herstellung eines photolithographischen Musters und Verfahren zur Bestimmung der Position eines Bildes einer Ausrichtungsmarke
Optik & Fototechnik
03.01.2007
Verfahren und System zur Echtzeitmustersaufrasterung für maskenlose Lithographie unter Verwendung von rechnerisch gekoppelten Spiegeln zur Erzielung einer optimierten Musterteilsdarstellung
Optik & Fototechnik
15.11.2006
Vorrichtung zur Lichtstrukturierung unter Verwendung von Kippspiegeln in einer Superpixelanordnung
Optik & Fototechnik Anzeige-, Signal- & Kontrolltechnik
27.09.2006
Lithographische Projektionsvorrichtung und Stellantrieb
Optik & Fototechnik
02.08.2006
Lithographischer Apparat, Verfahren zur Herstellung eines Artikels und damit erzeugter Artikel
Optik & Fototechnik
19.07.2006
Lithographischer Projektionsapparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
28.06.2006
Niveausensor, lithographischer Apparat und Methode zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
19.04.2006
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
12.04.2006
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
05.04.2006
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
29.06.2005
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
03.03.2004
Ausrichtgerät, lithographischer Apparat, Ausrichtungsverfahren und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Optik & Fototechnik
03.03.2004
Lithographischer Apparat, Methode zur Herstellung einer Vorrichtung und damit hergestellte Vorrichtung
Optik & Fototechnik
17.09.2003
Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
18.09.2002
Bilderzeugungsverfahren mit Phasensprungstrukturen und Modifizierter Belichtung
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik

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