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Gigaphoton Patente

🇯🇵 Japan

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

539
Patente
2001–2023
Anmeldejahre
17
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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539 gesamt
Patent
22.09.2016
Laser system and laser annealing device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.09.2016
Target image-capture device, extreme-ultraviolet-light generation device, and extreme-ultraviolet-light generation system
Elektronik & Schaltungstechnik
15.09.2016
Laser device and extreme ultraviolet light generation system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
15.09.2016
Solid-state laser system, and laser device for exposure device
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.09.2016
Solid-state laser device, fiber amplifier system, and solid-state laser system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.09.2016
High-voltage pulse generating device
Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.09.2016
Discharge excited gas laser device
Maschinenelemente & Fluidtechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.09.2016
Excimer laser chamber device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.09.2016
Excimer laser chamber device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.09.2016
Beam dump device, laser device provided with same, and extreme ultraviolet light generation device
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
01.09.2016
Extreme uv light generation device and target recovery apparatus
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
11.08.2016
Beam delivery system and control method therefor
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
04.08.2016
Solid-state laser system
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.08.2016
Target supply device, processing device and processing method therefor
Elektronik & Schaltungstechnik
04.08.2016
Solid-state laser system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
28.07.2016
Euv light generation system, euv light generation method, and thomson scattering measurement system
Elektronik & Schaltungstechnik
30.06.2016
Extreme ultraviolet light generation device
Elektronik & Schaltungstechnik
30.06.2016
Titanium-sapphire laser apparatus, laser apparatus for exposure apparatus, and titanium-sapphire amplifier
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.06.2016
Extreme ultraviolet light generation device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
23.06.2016
Laser irradiation device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.06.2016
Extreme ultraviolet light generation device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
23.06.2016
Grating, method for manufacturing grating, and method for reproducing grating
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.06.2016
Extreme ultraviolet light generation device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
02.06.2016
Vibrator unit, target supply device and extreme uv light generation system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
02.06.2016
Narrowband laser device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.06.2016
Narrow-spectrum laser device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.05.2016
Extreme ultraviolet light generating device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
26.05.2016
Extreme ultraviolet light generating device, and extreme ultraviolet light generating method
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.05.2016
Band-narrowing module, band-narrowing laser device, and method for positioning band-narrowing module
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
19.05.2016
Band-narrowing laser device and method for positioning band-narrowing module
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.05.2016
Excitation unit, target supply device, and extreme-ultraviolet light generation device
Elektronik & Schaltungstechnik
12.05.2016
Filter structure, target generation device, and method for manufacturing filter structure
Verfahrens- & Trenntechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
12.05.2016
Excitation unit and target supply device
Elektronik & Schaltungstechnik
06.05.2016
Laser device and extreme ultraviolet light generation device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
28.04.2016
Extreme ultraviolet light generation system and method for generating extreme ultraviolet light
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
21.04.2016
Target material, material processing device, material processing method, material production method and program
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik
20.04.2016
Optische Vorrichtung, Diese Optische Vorrichtung Enthaltendes Lasergerät, und Dieses Lasergerät Enthaltendes Euv-Lichterzeugungssystem
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.04.2016
Light source system, beam transmission system, and exposure device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.03.2016
Laser device
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.03.2016
Transmission system for transmitting pulsed laser beam to extreme uv light chamber, and laser system
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Elektronik & Schaltungstechnik

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