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Gigaphoton Patente

🇯🇵 Japan

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

539
Patente
2001–2023
Anmeldejahre
17
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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539 gesamt
Patent
27.06.2019
Laser irradiation system
WO2019123612
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.06.2019
Laser device, euv light generation system, and method for manufacturing electronic device
WO2019123516
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.06.2019
Laser emission system and manufacturing method for electronic device
WO2019111382
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.06.2019
Excimer laser device and electronic device production method
WO2019111315
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.06.2019
Optical-element moving apparatus, narrow-band laser apparatus, and electronic-device manufacturing method
WO2019111393
Optik & Fototechnik
31.05.2019
Extreme ultraviolet generator and method for manufacturing electronic device
WO2019102526
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
31.05.2019
Excimer laser device and electronic device production method
WO2019102613
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
23.05.2019
Extreme ultraviolet light generation device and electronic device manufacturing process
WO2019097630
Optik & Fototechnik
16.05.2019
Extreme ultraviolet light generation device and method for manufacturing electronic device
WO2019092831
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
25.04.2019
Mirror for extreme ultraviolet light, and extreme ultraviolet light generation device
WO2019077734
Optik & Fototechnik
25.04.2019
Mirror for extreme ultraviolet light, and extreme ultraviolet light generation device
WO2019077735
Optik & Fototechnik
25.04.2019
Mirror for extreme ultraviolet light, and extreme ultraviolet light generation device
WO2019077736
Optik & Fototechnik
11.04.2019
Extreme uv light generation device and target supply device
WO2019069454
Optik & Fototechnik
11.04.2019
Laser machining method and laser machining system
WO2019069397
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
28.03.2019
Extreme ultraviolet light generation device and method for controlling extreme ultraviolet light generation device
WO2019058430
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
07.03.2019
Data analysis device, semiconductor manufacturing system, data analysis method, and semiconductor manufacturing method
WO2019043780
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
07.03.2019
Extreme Ultraviolet Light Generator
WO2019043773
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
28.02.2019
Wavelength conversion device
WO2019038825
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.02.2019
Extreme ultraviolet light generation device and maintenance method
WO2019035165
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
14.02.2019
Capacitor cooling structure and laser device
WO2019030792
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
17.01.2019
Laser system
WO2019012642
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.01.2019
Laser system, extreme-ultraviolet light generation device, and method for generating extreme-ultraviolet light
WO2019008719
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.01.2019
Extreme ultraviolet light generation device
WO2019003284
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
20.12.2018
Extreme ultraviolet light generation device
WO2018229855
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
20.12.2018
Laser apparatus and method for manufacturing optical element
WO2018229854
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
20.12.2018
Extreme ultraviolet light sensor unit and extreme ultraviolet light generation device
WO2018229838
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
20.12.2018
Laser device, laser device managing system, and laser device management method
WO2018229823
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.12.2018
Laser device, and euv light generation system
WO2018225117
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.12.2018
Laser device and euv light generation system
WO2018220738
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.12.2018
Extreme uv light generation system
WO2018220761
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
22.11.2018
Extreme ultraviolet light generation device
WO2018211569
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
22.11.2018
Target measuring device and extreme ultraviolet light generation device
WO2018211551
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
08.11.2018
Extreme ultraviolet light generation apparatus
WO2018203369
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
08.11.2018
Target supply device, extreme uv light generator, and target supply method
WO2018203370
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
01.11.2018
Euv light generation device
WO2018198227
Optik & Fototechnik
01.11.2018
Band-Narrowing Module
WO2018198215
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
25.10.2018
Gas laser device and magnetic bearing control method
WO2018193528
Maschinenelemente & Fluidtechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.10.2018
Laser system and euv light generation system
WO2018179094
Optik & Fototechnik
04.10.2018
Extreme ultraviolet light generation device
WO2018179417
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
04.10.2018
Euv light generation device, and method for controlling center of gravity position of euv light
WO2018179068
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
363
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173
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166
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30
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
13
Elektrische Energietechnik
11
Maschinenelemente & Fluidtechnik
5
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3
Anorganische Chemie & Werkstoffe
2
Software & Datenverarbeitung
2
Medizintechnik & Gesundheit
1
Metallurgie & Oberflächentechnik
1

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