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Gigaphoton Patente

🇯🇵 Japan

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

539
Patente
2001–2023
Anmeldejahre
17
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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539 gesamt
Patent
17.09.2020
Laser device, and manufacturing method for electronic device
WO2020183644
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
10.09.2020
Method for manufacturing semiconductor crystal thin film, and laser annealing system
WO2020179056
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.09.2020
Laser-use chamber device, gas laser device, and method of producing electrical device
WO2020174571
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.09.2020
Band-narrowing module, gas laser device, and method for manufacturing electronic device
WO2020174582
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.08.2020
Gas laser apparatus, laser light emitting method for gas laser apparatus, and method for manufacturing electronic device
WO2020170350
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
27.08.2020
Extreme ultraviolet light generation system and method for manufacturing electronic device
WO2020170362
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
20.08.2020
Extreme ultraviolet light generation device, target control method, and electronic device production method
WO2020165942
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
13.08.2020
Machine learning method, consumable-article management device, and computer-readable medium
WO2020161865
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
06.08.2020
Laser apparatus wavelength control method and method for manufacturing electronic device
WO2020157839
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.07.2020
Laser processing device and method for processing workpiece
WO2020152796
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.07.2020
Laser system, and method for manufacturing electronic device
WO2020152805
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.07.2020
System zur Erzeugung von Euv Strahlung
EP2764590
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
18.06.2020
Laser machining device and workpiece machining method
WO2020121468
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Optik & Fototechnik
04.06.2020
Laser system and method for manufacturing electronic device
WO2020110177
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
22.05.2020
Extreme ultraviolet light generator and method for manufacturing electronic device
WO2020100269
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
14.05.2020
Laser system, and manufacturing method for electronic device
WO2020095418
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
30.04.2020
Laser system, and electronic device manufacturing method
WO2020084685
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
13.02.2020
Maintenance management method for lithography system, maintenance management device, and computer-readable medium
WO2020031301
Optik & Fototechnik
09.01.2020
Energy measurement device and excimer laser device
WO2020008599
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.01.2020
Extreme uv light generation device, extreme uv light generation method, and method for manufacturing electronic device
WO2020003517
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.01.2020
Laser machining device, laser machining system, and laser machining method
WO2020003421
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
19.12.2019
Target image-capture device and extreme-ultraviolet-light generation device
WO2019239458
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
05.12.2019
Optical pulse stretcher, laser apparatus, and electronic device production method
WO2019229823
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.10.2019
Laser chamber, method for manufacturing sealing member, and method for manufacturing electronic device
WO2019207630
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.10.2019
Laser gas regeneration device and electronic device manufacturing method
WO2019207643
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.10.2019
Laser gas regeneration device and electronic device manufacturing method
WO2019207821
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.10.2019
Target supply device, extreme ultraviolet light generator, and method for manufacturing electronic device
WO2019207768
Optik & Fototechnik
03.10.2019
Wavelength conversion system and processing method
WO2019186767
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
03.10.2019
Extreme ultraviolet light generator and method for manufacturing electronic device
WO2019186921
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
03.10.2019
Extreme ultraviolet light generation system and method for manufacturing electronic device
WO2019186754
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
03.10.2019
Laser gas management system, electron device manufacturing method, and excimer laser system control method
WO2019186651
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.09.2019
Target supply device, extreme ultraviolet light generation device, and method for manufacturing electronic device
WO2019180826
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
19.09.2019
Frame, extreme ultraviolet light generation system, and method for manufacturing device
WO2019175964
Optik & Fototechnik Elektrische Energietechnik
06.09.2019
Target supply device, extreme ultraviolet light generation device, and method for manufacturing electronic device
WO2019167234
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
29.08.2019
Laser system
WO2019163029
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.08.2019
Target supply device, extreme ultraviolet light generation device, and method for manufacturing electronic device
WO2019162994
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
08.08.2019
Extreme uv light generation device, and method for manufacturing electronic device
WO2019150441
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
01.08.2019
Extreme ultraviolet generation device and method for manufacturing electronic device
WO2019146064
Optik & Fototechnik Elektronik & Schaltungstechnik
01.08.2019
Laser processing method and laser processing system
WO2019146021
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
27.06.2019
Laser irradiation method and laser irradiation system
WO2019123611
Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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Technologiefelder

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
363
Optik & Fototechnik
173
Elektronik & Schaltungstechnik
166
Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
30
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
13
Elektrische Energietechnik
11
Maschinenelemente & Fluidtechnik
5
Verfahrens- & Trenntechnik
3
Anorganische Chemie & Werkstoffe
2
Software & Datenverarbeitung
2
Medizintechnik & Gesundheit
1
Metallurgie & Oberflächentechnik
1

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