Lam Research
🇺🇸 USA aktiv
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
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Patente
2.727 gesamt| Patent | |||
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11.03.2026
Sockelschaftkühlsystem
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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11.03.2026
Abstimmbarer Randmantel mit Nanosekunden-Hf-Impulsen
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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04.03.2026
Unterschicht für Photoresisthaftung und Dosisreduzierung
Metallurgie & Oberflächentechnik
Optik & Fototechnik
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05.02.2026
High temperature esc for better temperature uniformity and control
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 14.07.2025
Anhängig
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05.02.2026
Pulsed dc bias for substrate processing system with remote plasma
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
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Status
Angemeldet am 21.07.2025
Anhängig
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05.02.2026
Integrated molybdenum liner and tungsten fill
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Status
Angemeldet am 29.07.2025
Anhängig
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05.02.2026
In Feature Planarization For Molybdenum Fill
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Status
Angemeldet am 31.07.2025
Anhängig
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29.01.2026
Pinhole probability analysis methods for photoresist films
Optik & Fototechnik
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Status
Angemeldet am 16.07.2025
Anhängig
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29.01.2026
Showerhead metrology and processing station
Metallurgie & Oberflächentechnik
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
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Status
Angemeldet am 21.07.2025
Anhängig
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29.01.2026
Error recovery system for substrate processing systems
Software & Datenverarbeitung
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Status
Angemeldet am 15.07.2025
Anhängig
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