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Lam Research Patente

🇺🇸 USA

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725
Patente
2000–2025
Anmeldejahre
25
Aktive Jahre

Patente nach Anmeldejahr

Nach Anmeldejahr. Patentanmeldungen werden in der Regel erst 18 Monate nach der Anmeldung veröffentlicht, daher sind die jüngsten Jahre noch unvollständig. Der graue Balkenanteil zeigt eine Hochrechnung auf Basis der typischen Veröffentlichungsverzögerung.

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2.725 gesamt
Patent
11.03.2026
Sockelschaftkühlsystem
EP4706088
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
11.03.2026
Abstimmbarer Randmantel mit Nanosekunden-Hf-Impulsen
EP4706076
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
04.03.2026
Unterschicht für Photoresisthaftung und Dosisreduzierung
EP4651192
Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
05.02.2026
High temperature esc for better temperature uniformity and control
WO2026029968
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.02.2026
Pulsed dc bias for substrate processing system with remote plasma
WO2026030027
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
05.02.2026
Integrated molybdenum liner and tungsten fill
WO2026030353
05.02.2026
In Feature Planarization For Molybdenum Fill
WO2026030546
29.01.2026
Pinhole probability analysis methods for photoresist films
WO2026024517
Optik & Fototechnik
29.01.2026
Error recovery system for substrate processing systems
WO2026024498
Software & Datenverarbeitung
29.01.2026
Wafer transfer robots including end effectors having integrated antennas for communication with sensors
WO2026024467
29.01.2026
Barrier seals for segmented electrodes with floating segments
WO2026024604
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
29.01.2026
Showerhead metrology and processing station
WO2026024656
Metallurgie & Oberflächentechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
29.01.2026
Selectively Depositing A Silicon Nitride Film
WO2026024748
Metallurgie & Oberflächentechnik
29.01.2026
Microfabrication of low-resistance molybdenum interconnects
WO2026024831
22.01.2026
Nozzle Flow Test Fixture
WO2026019733
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
22.01.2026
High aspect ratio plasma etching with controlled declogging
WO2026019766
22.01.2026
Replaceable heater terminal assemblies for substrate supports of substrate processing systems
WO2026019587
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
21.01.2026
Integration von Trockenentwicklung und Ätzverfahren zur Euv-Strukturierung in einer Einzigen Prozesskammer
EP4681251
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.01.2026
Mask Liner
WO2026015784
15.01.2026
Systems and methods for providing an hf rf signal to an upper electrode extension
WO2026015311
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
15.01.2026
Nitride layer formation by cyclic deposition and treatment
WO2026015403
15.01.2026
Integrated metal and metal nitride deposition
WO2026015631
08.01.2026
Carrier Ring Designs
WO2026010782
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.01.2026
Doped Dielectric Packaging Film
WO2026010781
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
08.01.2026
Chamber Precoat
WO2026010831
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.01.2026
Defect reduction strategies using mechanical learnings from mechanical simulation
WO2026006407
Optik & Fototechnik
02.01.2026
Techniques for thermal management of a precursor delivery line
WO2026006337
Metallurgie & Oberflächentechnik
02.01.2026
Systems and techniques for gas delivery for semiconductor processing
WO2026006065
02.01.2026
Seal To Mitigate Particle Contamination in Plasma Chambers
WO2026006068
02.01.2026
Photoresist smoothening and protection
WO2026006304
Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.01.2026
Passivation During Silicon Etch
WO2026006295
02.01.2026
Tuned focus ring for uniformity improvement of plasma-assisted processes
WO2026005937
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
02.01.2026
Low Temperature Doped Polysi Backside Deposition Film For Enhanced Chucking/dechucking in Semiconductor Processing
WO2026006421
02.01.2026
Carbon film deposition with reducing treatment after shaping etch
WO2026006710
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
31.12.2025
Rf-Schaltung mit Direktantrieb für Substratverarbeitungssysteme
EP3807921
Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.12.2025
Selective etch of stack using a hydrogen chloride gas and fluorine containing gas
WO2025264438
26.12.2025
Systems and methods for recovering rf energy using modular resonant circuits
WO2025264706
Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.12.2025
Molybdenum Deposition
WO2025264711
Metallurgie & Oberflächentechnik
26.12.2025
Downstream exhausting of gases during maintenance of substrate processing chambers
WO2025264983
Halbleiter & Elektrische Bauelemente
26.12.2025
Liquid sensors for substrate processing systems
WO2025264429
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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177
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141
Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik
118
Optik & Fototechnik
116
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105
Software & Datenverarbeitung
50
Elektrische Energietechnik
44
Steuerungs- & Regelungstechnik
42
Farben, Klebstoffe & Brennstoffe
39
Maschinenelemente & Fluidtechnik
31

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